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Diener P30聚对二甲苯薄膜涂层系统技术参数:
涂层材料;聚对二甲笨 N,C,D
涂层厚度:0.05~100μm
加热炉:4kW/Max.700℃
涂层腔体尺寸:D310*H500mm
Gas injection:homogenous dispersal system
Carrousel:Dia.150mm*H270mm
Pumping system:two-stage rotary vane suction power 25m3/h
Ultimate pressure:1*10-3mbar
Contral:Full PC based contral system on Windows-based
Compressed air:6bars oil free and dry
Exhaust:25mm tube
Dimensions:W1400*D700*1700mm
Connections:3phase/400V/16A/50,60Hz
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原子层沉积系统（ALD）
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