皮米精度位移激光干涉器_参数指标

attocube公司生产的attoFPSenor系列位移激光干涉器充分满足了高分辨位移与定位的工业和科研需要，其紧凑的设计和稳定性可以在极端环境中使用，在极大的位移测量范围内，达到25pm的位移分辨率和10MHz的采样速率，应用范围遍及闭环扫描器校准、样品或模块位移、加工业、引擎位移探测等领域。

+ 简单易用，attoFPSensor自动软件控制与校准

+ 测量速度快，attoFPSensor定位样品采样带宽10MHz，分辨率25pm

+ 实时数据采集界面，attoFPSensor利用Ethernet或HSSL实现定位数据的实时输出

+ 多轴同时测量，attoFPSensor配有独立的三轴定位器，允许同时位移测量、数据处理、和定位输出

+ 精确度极高，attoFPSensor锁定分子吸附频率做参考值，得到的定位信息具有测量学意义

+ 世界上zei小体积的位移测量干涉器，15mm直径和12mm长

长时间使用仍可保持picometer稳定度和精度

探测目标振动简单可靠

attoFPSensor具有极高的信号稳定性，如上图时间与位移变化的关系所示：

在20mm工作距离下，其2σ为0.286nm

在70mm工作距离下，其2σ为0.530nm；

在120mm工作距离下，其2σ为1.035nm

attoFPSensor不仅是功能强大的实时位移探测设备，而且它还是一个振动器。上图是测量attocube位移器ANPxyz得到的结果。

皮米精度位移激光干涉器