NPFLEX 3D 三维表面测量系统 光学轮廓仪

参考招标参数：

项目编号：GXZC2018-G1-14263-GXYL

项目名称：教学设备采购及安装

采购单位：广西科技大学

1白光干涉三维形貌测试系统1套

能测量多种样品、材料表面微区三维轮廓、形貌、表面粗糙度和实际工况进行研究及其评价，测量规范满足国内外相应测试标准。设备自动化程度高、高稳定性。测试过程及所有机械部件都可自动控制。采用非接触式的白光干涉测量方式。其关键技术指标，必须完全满足如下：

▲（1）测量方法：白光干涉法；Z轴分辨率 ≤ 0.15纳米；RMS重复性 ≤ 0.01纳米。

▲（2）光源要求：高亮度的双LED光源，一个独立的绿光光源，一个独立的白光光源，测量过程中软件自动调整亮度。

▲（3）垂直测量范围：0.1纳米至10毫米; 为了保证测量精确性，要求10毫米全量程采用闭环控制，不能采用缝合的功能。

▲（4）光路准直调整: 可按照样品形貌和面型，倾斜光学头部达致光路准直，光学头部可调角度范围共90度（±45°）；由于本仪器需要针对多种不同重量、大小和形状的样品进行测量，不接受样品台倾斜调整。

（5）白光干涉物镜：2倍和10倍；34毫米超长工作距离，可以测量凹表面或其他深槽结构，具有防撞保护配件。

（6）光学放大倍数：0.55倍、1.0倍、2.0倍；光学放大必须集成在光路中，不需要外加硬件，光学放大可通过软件自动转换；与物镜配合可以获得1.1X、2X、4X、5.5X、10X和20X的倍数。

（7）样品反射率 <1%-100%。

（8）台阶高度精度 < 0.75%  (样品为8微米台阶或更大)；台阶高度重复性  < 0.15% ( 1σ标准偏差 )。

▲（9）XY方向电动载物台工作范围 ≥ 300毫米 x 300毫米，全自动XY样品台，可程序化控制和大面积缝合功能；Z轴工作范围：电动 ≥ 200毫米；可测量 ≥ 300（深）x 300（宽）x 300（高）毫米的样品；载物台能承重 ≥ 50公斤。

（10）提供高度标准样块一个，台阶高度为8微米，标准样块经权威计量机构出具计量检定证书。

（11）提供Windows 7知名品牌电脑（安装正版Windows 7系统）, 为了获得更快速的图像处理能力，要求软件必须采用64位的软件。操作软件必须由本品牌自行研发，允许终身免费升级。并免费提供离线分析软件。

（12）测量软件操作界面友好，可进行两维和三维分析，多区域分析，可对样品表面微观区域进行编号分析，自动分析深度，面积及体积等参数，同时得到每一次的数据，可分析平均值，标准方差等。可分析摩擦磨损体积，表面粗糙度（符合国标和欧标），可分析样品表面缺陷，并可对多次测量数据进行统计，得到详细的统计报告（含平均值，方差，最小值，最大值等）；采购人可自行设置数据输出的界面。

（13）测量模式：为了满足不同样品测量需求，需要具有大量程的垂直扫描干涉模式(VSI)，高分辨的相移干涉模式（PSI）；为满足简易测量需求，另具备二合一的智能高级扫描模式(VXI)。

（14）系统集成的防震台，一体化设置，防震效果更佳。