DektakXT探针式表面轮廓仪

DektakXT仪器特性

无与伦比的性能和优于4埃（<4 Å）的测量重复性

• 单拱龙门式设计实现了突破性的扫描稳定性

• 先进的”智能化电子器件”实现了低噪声的新标杆

高效率且易于使用

• 直观化的Vision64^TM软件简化了用户界面的操作过程

• 独特的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和较大的力测量

• 自对准的探针设计使用户可以轻而易举地更换探针

探针式轮廓仪的全球领导者

• 性能卓越，物超所值

• 完备的零配件为您优化或延伸机台的多种应用提供保障

过去四十多年间，布鲁克的台阶仪研制和生产一直在理论和实践上不断实现创新性成果——首台基于微处理器控制的轮廓仪，首台实现微米测量的台阶仪，首台可以达到3D测量的仪器，首台个人电脑控制的轮廓仪，首台全自动300mm台阶仪——DektakXT延续了这种开创性的风格，全新的DektakXT成为世界上第一台采用具有单拱龙门式设计，配备全彩HD摄像机，并且利用64位同步数据处理模式完成最佳测量和操作效率的台阶仪。

Close up photograph of Dektak stylus tip measuring features on a silicon wafer.

Photograph of tip exchange on DektakXT. Tip exchange assembly makes changing tip sizes easy.

DektakXT 技术参数

    —台阶高度重复性5Å

    —Single-arch设计大大提高了扫描稳定性

    —前置敏化器件，降低了噪音对测量的干扰

    —新的硬件配置使数据采集能力提高了40%

    —64-bit，这一Vision64同步数据处理软件，使数据分析速度提高了十倍。

    功能卓越，操作简易

    —直观的Vision64用户界面操作流程简便易行

    —针尖自动校准系统让用户更换针尖不再是难事

    台阶仪（表面轮廓仪）领域无可撼动的世界领先地位

    —布鲁克的台阶仪，体积轻巧，功能强大。

    —单传感器设计提供了单一平面上低作用力和宽扫描范围

规格：

测量技术：探针轮廓仪DEKTAK XT

测量功能：二维表面轮廓测量/可选三维测量

样品视景：可选放大倍率，1to4mmFOV

探针传感器：低惯量传感器（LIS3）

探针压力：使用LIS3传感器：1至15mg

探针选项：探针曲率半径可选范围：50nm至25μm；高径比（HAR）针尖：10μm×2μm和200μm×20μm；可按客户要求定制针尖

样品X/Y载物台：手动X-Y平移：100mm(4英寸）；机动X-Y平移：150mm（6英寸）

样品旋转台：手动，360°旋转；机动，360°旋转

计算机系统：64-bit多核并行处理器，Windows7；Optional23英寸平板显示器

软件：Vision64操作及分析软件；应力测量软件；缝合软件；三维扫描成像软件

减震装置：减震装置可用

扫描长度范围：55mm（2英寸）

每次扫描数据点：最多可达120000数据点

最大样品厚度：50mm(2英寸）

最大晶圆尺寸：200mm(8英寸）

台阶高度重现性：＜4埃，1sigma在1μm垂直范围下）

输入电压：100-240VAC，50-60Hz

温度范围，运行范围：20到25℃

湿度范围：≤80%，无冷凝

系统尺寸及重量：455mmW×550mmD×370mmH（17.9in.W×22.6in.D×14.5in.H)；34公斤（75磅）；附件：550mmL×585mmW×445mmH（21.6in.L×23in.E×17.5in.H)；21.7公斤（48磅）