DektakXT探针式表面轮廓仪

    　　布鲁克 DektakXT 台阶仪(探针式表面轮廓仪)是一项创新性的设计，可以提供更高的重复性和分辨率，测量重复性可以达到5Å。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年 Dektak技术创新的顶峰，更加巩固了其行业领先地位。不论应用于研发还是产品测量，通过在研究工作中的广泛使用，DektakXT一定能够做到功能更强大，操作更简易，检测过程和数据采集更完善。第十代DektakXT台阶仪(探针式表面轮廓仪)的技术突破，使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。

    　　DektakXT完美设计

    　　探针系统的评价体系受三个因素影响：能否重复测量，数据采集和分析速度快慢，操作的难易程度。这些因素直接影响了数据的质量和操作效率。DektakXT利用全新结构和和zei佳软件来实现可重复、时间短、易操作这三个必要因素，达到zei佳的仪器使用效果。

    　　强化操作的可重复性 Delivering Repeatable Measurements

    　　DektakXT 在设计上的几个提高，使其在测量台阶高度重复性方面具有优异的表现，台阶高度重复性可以到达5Å.使用single-arch结构比原先的悬臂梁设计更坚硬持久不易弯曲损坏，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响。同时，Bruker还对仪器的智能化电子器件进行完善，提高其稳定性，降低温度变化对它的影响，并采用先进的数据处理器。在控制器电路中使用这些灵敏的电子元器件,会把可能引起误差的噪音降到zei低，DektakXT的系统因此可以更稳定可靠的实现对高度小于10nm的台阶的扫描。Single-arch结构和智能器件的联用，大大降低了扫描台的噪音，增强了稳定性，使其成为一个极具竞争力的台阶仪(表面轮廓仪)。

    　　提高数据采集和分析速度 SpeedingUpCollectionand Analysis

    　　利用独特的直接扫描平台，DektakXT通过减少从得到原始数据到扣除背底噪音所需要的时间，来提高扫描效率。这一改进，大大提高了大范围扫描3D形貌或者对于表面应力长程扫描的扫描速度。在保证质量和重复性的前提下，可以将数据采集处理的速度提高40%。另外，DektakXT采用Bruker 64-Bit数据采集分析同步操作系统Vision64，它可以提高大范围3D形貌图的高数据量处理速度，并且可以加快滤波器的工作速度和多模式扫描时的数据分析处理效率。Vision64还具有zei有效直观的用户界面，简化了实验操作设置，可以自动完成多扫描模式，使很多枯燥繁复的实验操作变得更快速简洁。

    　　完善的操作和分析系统 PerfectingOperationand Analysis

    　　与 DektakXT的创新性设计相得益彰的配置是Bruker的Vision64操作分析软件。Vision64提供了操作上zei实用简洁的用户界面，具备智能结构，可视化的使用流程，以及各种参数的自助设定以满足用户的各种使用要求，快速简便的实现各种类型数据的采集和分析。

    　　DektakXT 技术参数

• 台阶高度重复性5Å

• Single-arch设计大大提高了扫描稳定性

• 前置敏化器件，降低了噪音对测量的干扰

• 新的硬件配置使数据采集能力提高了40%

• 64-bit，这一Vision64同步数据处理软件，使数据分析速度提高了十倍。

    　　功能卓越，操作简易

• 直观的Vision64用户界面操作流程简便易行

• 针尖自动校准系统让用户更换针尖不再是难事

    　　台阶仪(表面轮廓仪)领域无可撼动的世界领先地位

• 布鲁克的台阶仪，体积轻巧，功能强大。

• 单传感器设计提供了单一平面上低作用力和宽扫描范围

DektakXT探针式表面轮廓仪

布鲁克DektakXT探针轮廓仪通过革新设计单拱龙门式设计使系统更稳定使其较前代产品在扫描速度上提高40%，与此同时实现测量重复性达到无与伦比的5埃以下（<5Å）的业内zei高水平。这一里程碑式的产品源自于Dektak系列占据业界领先地位长达四十年的优异表面测量技术。保持业界一贯的领先优势，通过采用独特的单拱龙门设计和“智能化电子器件”，使其达到无可匹敌的测量性能和重复性。首次采用的高清真彩相机提高了图像分辨率，而64位数据并行处理软件则加速了分析速度，使用户易于使用。DektakXT所具备的卓越性能和高效率使用户在材料研究和产品质量监控方面保持领先。所有这些技术上的巨大突破使得这一第十代Dektak产品可用于纳米级薄膜，台阶和表面的测量，在微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、医疗、科学研究和材料科学领域大显身手。

探针式轮廓仪新标杆-升级到最优性能 

    德国布鲁克 DektakXT 台阶仪（探针式表面轮廓仪）是一项创新性的设计，可以提供更高的重复性和分辨率。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年Dektak技术创新的顶峰，更加巩固了其行业领先地位。不论应用于研发还是产品测量，通过在研究工作中的广泛使用，DektakXT一定能够做到功能更强大，操作更简易，检测过程和数据采集更完善。第十代DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）的技术突破，使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。

薄膜测试—确保高产

在半导体制造中严密监测沉积和蚀刻比率均匀性，薄膜应力，能节省大量时间和金钱。薄膜的不均匀或太大的应力会导致地产及成品性能欠佳。DektakXT能方便快捷地设置和运行自动多点测试程序来检验晶片薄膜的精确厚度，达到纳米级别。DektakXT无与伦比的重现性提供给工程师精确的薄膜厚度和应力测试，来精确调节蚀刻和沉积以提供收益

表面粗糙度检测—确保性能

DektakXT适合很多产业（包括汽车、航空和医疗设备）的精密机器零部件的表面粗糙度常规鉴定。例如，矫形植入物的背面的羟磷灰石涂层粗糙度会影响植入后的粘结力和功效。利用DektakXT进行表面粗糙度的快速分析能力判断晶质生产是否达到预期，植入物能否通过产品要求。使用Vision64数据库的pass/fail标准，质量管理部门能轻松判断植入物是重做或者确保其质量

太阳能光栅线分析—降低制造成本

在太阳能市场，Dektak是测量单晶硅和多晶硅太阳能面板上导电银栅线临界尺寸的首选。银线的高度、宽度和连续性与太阳能电池的能量引导紧密相关。生产的理想状态是恰如其分地使用银，以具有最好的导电性，而不浪费昂贵的银。Dektak XT 通过软件分析来实现，报告银栅线的临界尺寸，以确定出现导电性所需的精确分量。Vision64的数据分析方法和自动功能有助于该验证过程的自动化。

微流体技术—检测设计和性能

Dektak XT是唯一能在大垂直范围（高达1mm），测量感光材料达到埃级重现性的探针轮廓仪。MEMS和微流体技术行业的研究者能使用Dektak XT来进行鉴定测试，确保零件符合规格。低作用测量功能NLite+轻触感光材料来测量垂直台阶和粗糙度

40多年不断创新

建立在40多年的探针轮廓技术创新的知识和经验之上—第一部薄膜测试仪，在第一部基于微处理器的轮廓仪，和第一部300mm自动轮廓仪DektakXT继承了以往的“第一”。新的DektakXT是首部single-arch设计的探针轮廓仪，首部内置真彩高清光学摄像机，及安装64-bit并行处理架构已获得最佳测量及操作效率的探针轮廓仪

全球有超过一万台设备，品牌Dektak以质量、可靠性及高性价比著称。当需要台阶高度、表面粗糙度的精确、可靠测量时，人们就会借助Dektak。引进DektakXT，Bruker能让您进一步获得可靠及高效的表面测量

提高数据采集和分析速度

利用独特的直接驱动扫描平台，Dektak XT减少了扫描间的时间，而没有影响分辨率和北京噪声。这一改进大大提高了大范围扫描3D形貌或者对于表面应力长程扫描（就探针轮廓仪而言，通常是耗时的）的扫描速度。在保证行业领先的质量和重现性前提下，DektakXT可以将数据采集处理的速度提高40%。另外，DektakXT采用Bruker64-bit数据采集分析同步操作软件Vision64，它可以提高大范围3D形貌图的高数据量处理速度，并且可以加快滤波器的工作速度和多模式扫描是的数据分析。Vision64还具有行业内最有效的直观用户界面，简化了实验操作设置，自动完成多扫描模式，让重复和常规的实验操作变得更快速简洁。

实现测量的可重现性

DektakXT的领先设计使其在测量台阶高度重现性方面具有优异的表现，台阶高度重现性可优于4埃。使用single-arch结构比原先的悬臂梁设计更加稳固，降低了对不利环境条件的敏感性，如声音和震动噪音

应用行业：触摸屏、半导体、太阳能、超高亮度发光二极管（LED）、医学、材料科学、高校、研究所、微电子、金属等行业实现纳米级表面形貌测量

台阶仪Dektak XT能实现：

• 无可匹敌的性能，台阶高度重现性低于4埃

• Single-arch设计提供具突破性的扫描稳定性

• 先进的“智能电子器件”设立了新低噪音基准

• 新硬件配置使数据采集时间缩短40%

• 64-bit，Vision64同步数据处理软件，使数据分析速度提高了10倍

• 频率空前，操作简易

• 直观的Vision64用户界面，操作简易

• 针尖自动校准系统，无与伦比的价值

• 布鲁克（Bruker）以实惠的配置实现最高的性能

• 单传感器设计，提供单一平面上低作用和宽扫描范围

探针式轮廓仪的黄金标准

DektakXT®探针式轮廓仪革命性的突破设计创新，实现了垂直高度重复性高达4埃，数据采集能力提高了40%。这一里程碑的创新和突破，使得DektakXT实现了纳米尺度的表面轮廓测量，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。

技术创新四十余载，不断突破用攀高峰

Dektak品牌是首台基于微处理器控制的轮廓仪，首台实现微米测量的台阶仪，首台可以达到3D测量的仪器，首台个人电脑控制的轮廓仪，首台全自动300mm台阶仪。现在，全新的DektakXT延续了这种开创性的风格，成为世界第一台采用具有具有单拱龙门式设计，配备全彩HD摄像机，并且利用64位同步数据处理模式完成最佳测量和操作效率的台阶仪。

提高测量和数据分析速度

首次采用独特高速的直接驱动扫描样品台，DektakXT在不牺牲分辨率和基底噪音水平的前提下，大大缩短了每次扫描的间隔时间，将数据采集处理的速度提高40%。另外，DektakXT采用布鲁克具有64位数据采集同步分析的Vision64，可以提高大范围3D形貌图的高数据量处理速度，并且可以加快数据滤波和多次扫描数据库分析的速度。

提高操作的可重复性

使用单拱龙门结构设计更坚硬持久不易弯曲损坏，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响。DektakXT会把系统和环境噪音引起的测量误差降到最低，能够更稳定可靠的扫描高度小于10nm的台阶，获得其形貌特征。

完善的数据采集和分析系统

与DektakXT的创新性设计相得益彰的配置是布鲁克Vision64操作分析软件。Vision64提供了操作上最实用简洁的用户界面，具备智能板块，可视化的使用流程，以及各种参数的自助设定以满足用户的各种使用要求，快速简便的实现各种类型数据的采集和分析。

简便易行的实验操作系统

DektakXT新颖的探针的部件自动对准装置，可以尽量避免用户在装针的过程中出现针尖损伤等意外。为尽可能满足所有应用的需求，布鲁克提供各种尺寸的标准探针和特制探针。

高效率的保证

DektakXT卓越的测量重复性为工程师们提供准确的薄膜厚度和应力测量，使其可以精确调节刻蚀和镀膜工艺来提高产品的优良率。