三维表面形貌测量仪InfiniteFocus G5

自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G5的主要技术参数：

位移范围（X轴、Y轴、Z轴）：100mm×100mm×100mm

样品表面结构：表面形貌Ra＞9nm，Lc=2μm，取决于表面结构

zei大样品高度：100mm ～ 345mm

zei大样品重量：30kg

zei佳水平分辨率：0.44μm

zei佳垂直分辨率：10nm

zei大扫描高度：22.5mm

zei大扩展视野范围：10000mm2

zei大单一方向扫描范围：100mm

测量速度:170万个测量点/秒

zei小测量高度：0.01μm

zei大测量高度：22.5mm

zei大测量范围：10000mm2

zei大测量形貌长度：100mm

zei小可重复性：0.001μm

zei小测量粗糙度（Ra）：0.03μm

zei小测量粗糙度（Sa）：0.015μm

zei小测量半径：1μm

zei小测量垂直角度：20°

zei大测量倾斜角度：87°