FocalSpec 线共焦扫描仪 技术指标：
| 线共焦传感器 | S 400 | S 1200 | S 1600 | |
| 光学轮廓长度 | 4.50 | 11.26 | 16.40 | mm |
| X轴像素尺寸 | 2.2 | 5.5 | 8.0 | μm |
| Y轴像素尺寸 | 10 | 25 | 36 | μm |
| Z轴分辨率 | 0.10 | 0.55 | 0.98 | μm |
| 隙距 | 5.50 | 16.16 | 59.00 | mm |
| Z轴范围 | 1.00 | 2.80 | 5.50 | mm |
| 测量速度 | 300 | 500 | 500 | Hz |
| zei大测量速度 | 300 | 2500* | 2500* | Hz |
| 每段轮廓点数 | 2048 | 2048 | 2048 | |
| 波长 | VIS | VIS | VIS | |
| zei大倾斜率 | 15.0 | 20.0 | 13.5 | deg |
| 尺寸 | 258*258*79 | 645*214*130 | 431*358*113 | mm |
| 重量 | 5.2 | 24 | 20 | kg |
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