产品规格
扫描范围：0-180um（270um可选）
垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm
台阶高度重复性:﹤0.5%(1σ)
横向分辨率：0.2-4um（取决于物镜和FOV）
工作台面：510X405mm（程控）
尺寸：1200(w)X1250(D)X1900(H)
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