技术规格

(1)移动范围: X 轴驱动部: 100mm

电动立柱(垂直方向): 250mm

(2)Z 轴测量范围:1000μm(粗糙度时)、50mm（轮廓度时）

(3)直 线 度:粗糙度时(0.05+1.0L/1000)μm ,L:测量长度 (mm)

轮廓度时1μm/100μm

(4)测量精度(轮廓): Z 轴(垂直方向)指示精度 ±(1.8+│2H│/100)

μm Z 轴分辨率 0.1μm/50mm

X 轴(横方向)指示精度±(1+2L/100)μm ,L=测量长度（mm）

粗糙度精度:X 轴分辨率0.1μm

(5)粗糙度解析项目:测量参数 (JIS ,ISO,DIN,ASME,CNOMO 等标准)

评价曲线 (断面曲线,粗度曲线,波纹度曲线等)、特性图形 (负荷曲线,

振幅分布曲线等)