性能规格
| 厚度范围, WSI | 50 nm - 10 mm |
|---|---|
| 厚度范围, PSI | 0 - 3 μm |
| 样品反射率范围 | 0.05% - 100% |
| 一般电脑要求 | |
|---|---|
| Video | 硬件加速支持 DirectX11 |
| 操作系统 | Windows 7 或 更新(需64位操作系统) |
| 输入输出接口 | 一个可用的USB3接口 |
| 最低配置 | 建议配置 | |
|---|---|---|
| 处理器 | 双核处理器,主频 2.0 GHz | 四核处理器,主频 2.2GHz |
| 显示 | 1366 x 768 | 1920 x 1080 |
| 系统内存 | 4 GB RAM | 8 GB RAM |
| 硬盘空间 | 至少300 MB | 至少500 MB |
机械规格
| Z 范围 | 100 mm |
|---|---|
| Piezo (压电)范围 | 500 μm |
| XY 平台类型 | 手动或自动 |
| XY 平台范围 | 100 mm x 100 mm |
| 相机 | 2592 x 1944 (5 百万像素) |
| 系统尺寸，宽x深x高 | 300 mm x 300 mm x 550 mm |
| 系统重量 | 15 kg |
物镜 1 (Nikon CF IC Epi Plan)
| 放大倍率 | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
|---|---|---|---|---|---|
| 视场 | 4.0 x 3.4 mm | 2.0 x 1.7 mm | 1.0 x 0.85 mm | 0.4 x 0.34 mm | 0.2 x 0.17 mm |
| 采样空间2 | 1.76 μm | 0.88 μm | 0.44 μm | 0.176 μm | 0.088 μm |
参考招标参数：
国家海洋局天津海水淡化与综合利用研究所2018年第六批仪器设备采购项目
招标编号：0703-1841CIC1N094
第4包：3D形貌及表面粗糙度分析仪
1、技术指标
1.1. 具备LED双光源（白光和绿光），集成VSI、PSI；
1.2. 垂直测量范围：0.1nm至10mm，全量程闭环扫描，可连续测量0.1nm到10mm的Z向起伏样品；
1.3. 垂直方向的分辨率：≤0.1nm，RMS测量的重复性：0.01nm，VSI测量的重复性 0.1nm；
1.4. 台阶高度测量准确性：≤0.75%，台阶高度测量重复性：≤0.1%；
1.5. Z方向最大行程100mm；
1.6. 扫描速度大于47um/sec，垂直扫描速度12um/sec；
1.7. 样品反射率：<0.05%至100%；
1.8. 具备自动调光强功能；
1.9. 系统含1x目镜，白光干涉物镜2.5x，系统含10x白光干涉物镜；
1.10. 样品台倾斜调制范围：± 6°（Tip/Tilt）± 5°
1.11. 系统可进行微观及宏观形貌测量，并且具有多区域分析功能，可以自动根据样品高度对表面的特征区域进行分析，获得包括尺寸、角度、斜率、面积、体积和位置等多种参数，最大限度排除人为干扰，提高效率。
1.12 采用ISO4287，ISO4288标准自动扫描固体基材表面，软件显示光学直观图像，二维粗糙度形貌图，三维粗糙度形貌图，图像扫描:一维,二维,三维可选。
最大样品尺寸：∞ ×180 mm ×22 mm (L ×W × H)。
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