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三维台阶仪

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阿尔派台阶仪, 仪器简介: 该系统利用扫描探针显微镜光杠杆位移检测技术和超平整参照面-大型样品台扫描技术,并与压电陶瓷(PZT)扫描完美结合,可以再不丧失精度的情况下,即得到超大样品整体三维轮廓图,又呈现局部三维形貌像。其中样品台扫描参考平面使用超高平坦度光学抛光平台,有效解决了以往样品台扫面,由于丝杠公差引起的测试结果有亚微米量级的误差。

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技术特点

【技术特点】-- 三维台阶仪

主要特点:

1、常规的接触式轮廓仪和扫描探针显微镜技术的完美结合
2、双模式操作(针尖扫描和样品台扫描),即使在长程测量时也可以得到zei优化的小区域三维测图
3、针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式,三维扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。
4、在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察
5、针尖扫描采用双光学传感器,同时拥有宽阔测量动态范围(zei大至500μm)及亚纳米级垂直分辨率 (zei小0.1nm )
6、软件设置恒定微力接触
7、简单的2步关键操作,友好的软件操作界面



【技术特点对用户带来的好处】-- 三维台阶仪


【典型应用举例】-- 三维台阶仪



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