技术特点
【技术特点】-- 三维台阶仪
主要特点:
1、常规的接触式轮廓仪和扫描探针显微镜技术的完美结合
2、双模式操作(针尖扫描和样品台扫描),即使在长程测量时也可以得到zei优化的小区域三维测图
3、针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式,三维扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。
4、在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察
5、针尖扫描采用双光学传感器,同时拥有宽阔测量动态范围(zei大至500μm)及亚纳米级垂直分辨率 (zei小0.1nm )
6、软件设置恒定微力接触
7、简单的2步关键操作,友好的软件操作界面
【技术特点对用户带来的好处】-- 三维台阶仪
【典型应用举例】-- 三维台阶仪
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