探针式轮廓仪系统Dektak XTL

产品型号：Dektak XTL

品牌：布鲁克

产品产地：德国

产品类型：进口

原制造商：布鲁克

状态：在售

厂商指导价格： 100~150万元[人民币]

上市时间： 2014-03-05

英文名称：Bruker Dektak XTL Stylus Profiler

优点：Dektak XTL 探针式轮廓仪可容纳高达 350mm x 350mm 的样品，为大型晶圆和面板制造带来Dektak ®传奇的可重复性。Dektak XTL 具有空气振动隔离设计和全封闭工作站设计，具有易用的联锁门，是当今苛刻的生产车间环境的的理想之选。其双摄像头架构可增强空间感知能力，其高自动化水平可最大限度地提高测试通量。