300毫米高精度编码XY工作台为制造商提供可靠工具，满足严格的可重复性和再现性要求。Dektak双摄像头控制系统装有俯视摄像头以及顶尖高倍率侧视摄像头，使空间感增强；通过在视频上点击定位使操作者能够快速调整样品至正确位置，以便进行快速简单的测量设置和自动化编程。系统方便使用的连锁门使样品装载和卸载更加安全快捷。其它硬件特性包括：1.为达到极低噪音水平而使用的单拱结构和集成隔离结构
2.可快速更换和自动校准的探针
3.为加速自动数据采集而使用的高精度编码XY工作台

4.N-Lite低作用力时候采用Soft Touch 技术与1mm测量范围同时使用，可进行精细、高垂直范围样品测量

大幅面应用的关键成果
   凭借其优越性能和易用性的独特结合，Dektak XTL成为新的质量保证/质量控制的研究标准，它被应用于触摸面板、太阳能板、平板显示器和半导体行业的工业薄膜沉积监测。

晶片应用：
沉积薄膜（金属、有机物）的台阶高度
抗蚀剂（软膜材料）的台阶高度
蚀刻速率测定
化学机械抛光（腐蚀，凹陷，弯曲）
大型基板应用：
印刷电路板（凸起、台阶高度）
窗口涂层
晶片掩模
晶片卡盘涂料
抛光板
玻璃基板及显示器应用：
AMOLED
液晶屏研发的台阶步级高度测量
触控面板薄膜厚度测量
太阳能涂层薄膜测量
柔性电子器件薄膜：
有机光电探测器
印于薄膜和玻璃上的有机薄膜
触摸屏铜迹线

探针式轮廓仪系统Dektak XTL技术参数

软件选项:自动图形识别；高级软件界面
隔振:高性能隔振，无源气动空气隔离器
扫描长度范围:300mm
每次扫描覆盖的数据点数:120,000，zei大
zei大样品厚度:50mm
zei大晶片尺寸:300mm
zei大样品体积:350mm
步级高度再现性:<5埃@0.1微米高度标样，1标准偏差
垂直范围:1mm
垂直分辨率:zei大1埃（@6.55μm范围）
输入功率:100到240VAC，50到60Hz
温度范围:20°到25°C（68°至77°F）工作范围
湿度范围:≤80％，无冷凝
系统尺寸和重量:978毫米（38.5英寸）宽x954毫米（37.6英寸）深x1714毫米（67.5英寸）高；272kg (600lbs)