探针式轮廓仪

Dektak XTL探针式轮廓仪

针对300mm尺寸样品进行优化，用于质量保证/质量分析的探针式轮廓仪

Dektak XTL探针式轮廓仪

Dektak XTL™ 探针式轮廓仪可容纳高达 350mm x 350mm 的样品，为大型晶圆和面板制造带来Dektak ®传奇的可重复性。Dektak XTL 具有空气振动隔离设计和全封闭工作站设计，具有易用的联锁门，是当今苛刻的生产车间环境的的理想之选。其双摄像头架构可增强空间感知能力，其高自动化水平可最大限度地提高测试通量。

鲁棒 自动化设置和操作

基于参考位置和众多测量位置进行编程，以最大限度地提高测试通量并最大限度地减少出错。

双 摄像机控制

更快地简化测量设置和定位到感兴趣点。

容易 分析和数据收集

自动执行分析程序，仅报告复杂样本上所需的特征。

特征

业界最佳自动化和分析软件

增强的软件功能使 Dektak XTL 成为功能最强大、最容易使用的探针式轮廓仪。该系统利用 Vision64 软件，通过数百种内置分析工具实现众多的测量位点、3D成像和高度自定义的特征分析。Vision64软件还能测量形状，如曲率半径。模式识别可最大限度地减少操作员误差并提高测量位置精度。集成化的软件包将数据收集和分析与直观的工作流程相结合。

Vision64 生产界面。

无与伦比的探针技术

操作员将 300mm 晶圆装载到 Dektak XTL 上。

严格质量保证与质量控制下，获得300毫米优性能探测

       布鲁克公司的新型Dektak XTL探针式轮廓仪系统可容纳多大350mm*350mm的样品，将Dektak有意的可重复性和再现性应用于大尺寸晶片及面板制造业。Dektak XTL集成气体隔振装置和方便的交互锁装置使仪器在全封闭工作环境下运行，是当今要求苛刻的生产环境的理想之选。它的双摄像头设置使空间感增强，其高水平自动化可提高生产量。

探针式轮廓仪系统Dektak XTL产品特性

· Bruker公司的双摄像头控制系统

1.通过点击实时视频更快锁定到关注点
2.通过选择实时视频中的两个点快速定位样品（自动旋转使连线水平）
3.通过在实时视频中点击扫描起始和结束位置简化测量设置（教学）
· 可靠的自动化设置和操作
1.借助300毫米的自动化编码XY工作台以及360度旋转能力，编程控制无限制测量位置。
2.利用带图形识别功能的Vision64位产品软件大程度减少使用中的定位偏差
3.将自定义用户提示以及其它元数据编入您的方案中，并存储到数据库内
· 方便的分析和数据采集
1.快速分析仪支持大部分常用分析方法，可轻松实现分析程序自动化
2.通过台阶检测功能将分析集中于复杂样品上感兴趣的特征
3.通过赋予每个测量点名称并自动记录到数据库来简化数据分析
4.Dektak在大样品制造业中的传奇性能

业界自动分析软件

       新增软件功能使Dektak XTL成为市面上强大、易使用的探针式轮廓仪。系统使用的Vision64软件,与Bruker公司的光学轮廓仪完全兼容。Vision64软件可以进行样品任何位置测量、3D绘图以及借助数百个内置分析工具实现的高度定制表征方法。也可以使用Vision Microform软件来测量曲率半径等形状。

探针式检测技术
       图形识别功能可以尽量减少操作员误差并提高测量位置精度。在同一软件包内，以直观流程进行数据采集和2D、3D分析。每个系统都带有Vision软件许可证，可在装有Windows7操作系统的个人电脑上安装，用户可在电脑桌面上创建数据分析和报告。

Dektak XTL拥有超过40年的探针专业经验和软件定制生产经验，符合现在和未来的严格的行业发展蓝图。

探针式轮廓仪系统Dektak XTL应用
一、晶片应用：                                                          二、大型基板应用：         
沉积薄膜（金属、有机物）的台阶高度                           印刷电路板（凸起、台阶高度）
抗蚀剂（软膜材料）的台阶高度                                     窗口涂层
蚀刻速率测定                                                                 晶片掩模
化学机械抛光（腐蚀，凹陷，弯曲）                              晶片卡盘涂料
                                                                                      抛光板

三、玻璃基板及显示器应用：                                        四、柔性电子器件薄膜：
AMOLED                                                                       有机光电探测器
液晶屏研发的台阶步级高度测量                                     印于薄膜和玻璃上的有机薄膜
触控面板薄膜厚度测量                                                   触摸屏铜迹线
太阳能涂层薄膜测量