技术特点
【技术特点】-- 全自动晶元检测激光共聚焦显微镜系统
快速反馈回路,以降低运营成本
令人印象深刻的工具吞吐量允许连续在晶圆测试网站的探针卡采集判断探针卡的一般可用性或缺陷单操作之前或之后。它还提供了一个永久性的探针卡的寿命终结点的详细信息(EOL)磨损。
μsprint的探针卡检查工具是根据线前端设计(FEOL)要求提供半标准的用户界面以及SECS/GEM标准主机通信协议。工具平台是基于Win7和Win8,准备在需求Win10。
【技术特点对用户带来的好处】-- 全自动晶元检测激光共聚焦显微镜系统
【典型应用举例】-- 全自动晶元检测激光共聚焦显微镜系统
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激光共聚焦显微镜
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