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大范围扫描|三维表面形貌测量仪

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nanofocus激光共聚焦显微镜, μsurf系列产品采用多孔共聚焦技术,结合CCD的影像摄取,以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞,再将物镜垂直移动,以类似断层摄影方式,可在短时间(约几秒)内精确量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式,不会破坏样品的表面,不需要在真空环境下测量,也可以用显微镜测量的功能来观测样本,其在严酷的工作环境下,也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,在测量渐变较大的高度时,跟其他方法相比,可以更精确量测物体高度,建立3D立体影像,优势相当明显。

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技术参数
LED光源:λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
测量时间:5~10秒
测量原理:非接触、共聚焦
X/Y方向,平台移动范围:50mmX50mm,马达驱动,分辨率:0.3μm
Z方向测量范围:250μm,分辨率:2nm
物镜:10X、20X、50X、100X(可选)
计算机:高性能计算机控制系统,功能全面的软件,有拼接功能,
工作电源:100-240V, 50-60Hz, input<45W
材质:钢铁、橡胶、大理石
外型尺寸:710x270x330 mm (HxWxD)
重量:28KG

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