技术参数 
LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h 
测量时间：2~10秒 
测量原理：非接触、共聚焦 
X/Y方向：平台移动范围200mmX200mm，马达驱动，zei大移动速度40 mm/s，X/Y方向分辨率：0.3μm 
Z方向测量范围：500μm，Z方向分辨率：1nm 
物镜：10X、20X、50X、100X(可选) 
离轴摄像头(10X)，zei大视野8 x 6 mm2(选配) 
计算机：高性能计算机控制系统，功能强大且附带全面解决方案的自动化软件 
工作电源：100-240V, 50-60Hz，input: 550 VA 
材质：钢铁、橡胶、大理石 
洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)