指标参数。
| 波长 | 248 nm |
| 单脉冲能量。 | 100 毫焦( 在 > 50 微焦@ 248 nm 种子光脉冲能量条件下) |
| 时间抖动。 | ± 2 ns (相对于触发脉冲。) |
| 光斑 | 36 x 36 mm2 |
| 光束质量 | 2 x 衍射极限 (在 M^2 = 1 输入端) |
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经销商
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