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TESCAN MIRA3场发射扫描电镜(LMH/LMU)

tel: 400-6699-117 5963

泰思肯扫描电镜SEM, zei新一代的TESCAN MIRA场发射扫描电镜给用户带来了zei新的技术优点(如改进的高性能电子设备使成像过程更快,......

在线客服

背散射电子图像分辨率:2.0nm@30kV

二次电子图象分辨率:1.0nm@30kV

加速电压:0.2~30kV

放大倍数:x2~x1,000,000


MIRA3

分辨率

高真空模式 SE:1.2 nm at 30 kV;2.5 nm at 3 kV

高真空模式离子束 SE:1 nm at 30 kV

低真空模式 BSE:2 nm at 30 kV

高真空模式 BDM (Beam Deceleration Mode):1.5 nm at 3 kV ;2.5 nm at 200 V

低真空模式 LVSTD (UniVac only):1.5 nm at 30 kV

STEM:0.8 nm at 30 kV


工作真空

高真空模式腔:< 9 × 10 -3  Pa*

低真空模式腔(仅对UniVac):7 – 500 Pa** 

真空枪:< 3 × 10 -7  Pa

* 可达到压力 < 5 × 10 -4  Pa

** 带插入式低真空规


电子光学工作模式

高真空模式:分辨率、深度、场、宽场、Channelling

低真空模式:分辨率、深度


放大倍数:连续 2× ~ 1,000,000× (LM); 1x ~ 1,000,000× (XM, GM)

视场:6.4 mm at WD analytical 10 mm;20 mm at WD 30 mm

加速/ landing电压:200 V ~ 30 kV / 50 V ~ 30 kV 带 BDT (束减速技术)选项

电子枪:高亮度肖特基场发射

探针电流:2 pA ~ 200 nA

扫描速度:从 20 ns ~ 10 ms,以步进或连续方式可调节每个像素

扫描特性:

 聚焦窗(形状、尺寸和位置连续可调)

 动态聚焦,点和线扫描,图像旋转,图像位移,倾斜补偿, 3D 束,生物立体成像(SEM),通过选项的DrawBeam软件还可扫描其他形状


图像尺寸:zei大 16,384 × 16,384 像素,独立可调,用于活体成像(3步实现)和存储图像(11步),可选择正方形、4:3或2:1的矩形

显微镜控制:所有显微镜功能由使用trackball来进行PC控制,经由Windows平台下的MiraTC来进行鼠标和键盘控制。选配控制面板和触屏控制。

自动化程序:

  In-Flight Beam Tracing™ beam optimization, Spot Size and Beam Current Continual, 

  WD (focus) & Stigmator, Contrast & Brightness, Scanning Speed (according to Signal- 

   Noise Ratio), Gun Centering, Column Centering, Vacuum Control, Compensation for kV, 

   Look-Up Table, Auto-diagnostics

远程控制:经由 TCP/IP 开放协议


厂家资料

地址:上海 闵行区联航路1688号旭辉国际28号1层; 昌平区中关村生命科学园生命园路29号,创新大厦A108室

电话:400-6699-117 转 5963

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