TESCAN RISE电镜拉曼一体化显微镜

RISE 是一款新型的关联使用显微技术，结合了扫描电镜和共聚焦拉曼成像。通过RISE可以同时获得超微结构表面分析以及分子化合物的信息。

石墨烯样品的 图像。彩色共聚焦拉曼图像。颜色显示石墨烯层和褶皱。图像参数：μ×μ，×150 像素=22500谱图。采集时间：0.05s/谱图。右侧的是 SEM 图像与共聚焦显微镜拉曼图像叠加。

RISE将扫描电镜和共聚焦拉曼光谱的特征集中在了一台设备上： 可快速、方便的切换SEM和拉曼测量； 可自动移动不同测量位上的样品； 友好的操作界面，集成度高； 测量结果可以与图像叠加； 无论是扫描电镜成像还是拉曼测量结果都不逊于两者独立工作的时候； 扫描电镜 MAIA3 集成了拉曼设备

RISE Microscopy: SEM and color-coded Raman images of a diorite sample overlaid (top). Raman Image: 100 μm x 100 μm,   300 x 300 pixels = 90,000 spectra, integration time: 34 ms/spectrum.  Corresponding Raman spectra (bottom): Each spectrum displays a  molecular component of the sample.

RISE电镜-拉曼一体化系统

SEM-Raman (RISE Microscopy)

RISE电镜-拉曼一体化系统是一款新颖的显微镜技术，在一个集成的显微镜系统中结合了共焦拉曼成像和扫描电子显微镜技术，这种独特的组合为显微镜用户对样品进行综合表征，提供了明显的优势。

扫描电子显微镜是一个很好的表征纳米范围内样品表面结构的可视化技术，而共焦拉曼成像是表征样品化学和分子组成的成熟光谱方法。RISE电镜-拉曼一体化系统还可以同时得到样品的2D、3D图像，以及样品中分子化合物组成的可视化分布结果。

引领变革 全方位拓展分析

RISE Microscopy是一款创新性的产品，是世界上第一台真正实用化的扫描电镜-拉曼光谱仪联用系统。通过实现原位、快速、方便和高性能的拉曼分析，可以极大的拓展分析应用，在有机结构解析、碳结构解析、无机相鉴定、同分异构分析、结晶度分析等领域作出重大突破。

目前，RISE电镜-拉曼一体化系统在地质、矿物晶体、高分子聚合物、医学、生命医药、宝玉石鉴定等领域均有了非常丰富的应用。

无论您是怎样的客户 RISE显微镜都适合您

作为扫描电镜用户，您将会受益于拉曼光谱分析与扫描电镜成像技术结合的优势。RISE显微镜采用平行轴设计，使得电镜的各种探测器和附件（如BSE, CL, EDS等）在联用系统中都可以配置使用。

作为拉曼光谱用户，您将会体验到扫描电镜与拉曼光谱联用分析的拓展性和易用性。传统的拉曼光谱仪由于没有光学物镜，分辨率受限于激光束斑大小，难以达到理论上的衍射极限，处于几个μm的水平。而RISE显微镜不但拥有高数值孔径的光学物镜聚焦激光束斑，还能够通过束斑的扫描运动来进行成像，zei终的拉曼图像分辨率突破了传统的衍射极限，达到了360nm(532nm激光)。

定制化系统功能：

q  平行轴式设计，保证样品台分别在电子束和激光束下的精准定位

q  基于TESCAN超大样品仓定制，拥有丰富的接口和极强的承高承重能力

q  同时具备电镜和光镜，配合X-Position功能，实现和任意光学照片及Mapping数据的联用

q  可集成电镜的各种探测器和分析附件，进一步拓展分析应用

q  点、线、面的拉曼成像分析，叠加图像能够提供极其丰富的数据信息

q       突破传统的衍射极限，拉曼图像分辨率可达360nm (532nm激光)

q  共聚焦功能实现光学物镜的三维逐层扫描，进行三维拉曼光谱成像

q  联用系统的扫描电镜部分和拉曼光谱仪部分可完全独立使用

q  联用系统可以集成在TESCAN任意扫描电子显微镜产品

无论哪个领域  RISE显微镜都会给您提供独特的方案

RISE电镜-拉曼一体化系统特别适合于有机结构解析、碳结构解析、无机相鉴定、同分异构分析、结晶度分析等领域的分析应用。目前，RISE显微镜在地质、矿物晶体、高分子聚合物、医学、生命医药、宝玉石鉴定等领域均有了非常丰富的应用。

• 碳材料

• 有机材料

• 二维材料

• 无机材料

• 共聚焦分析

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无论哪个领域  RISE显微镜都会给您提供独特的方案

RISE电镜-拉曼一体化系统特别适合于有机结构解析、碳结构解析、无机相鉴定、同分异构分析、结晶度分析等领域的分析应用。目前，RISE显微镜在地质、矿物晶体、高分子聚合物、医学、生命医药、宝玉石鉴定等领域均有了非常丰富的应用。

• 碳材料

• 有机材料

• 二维材料

• 无机材料

• 共聚焦分析

参考招标参数：中国科学院2018年仪器设备部门集中采购项目（第一批）

招标编号：OITC-G180260376-1

第7包 水合物实验及表征系统(RISE联用系统)

1、  工作条件：

工作温度范围：0~50℃，相对湿度<60%

2、设备用途：

2.1用于水合物样品观察和鉴定，实现扫描电镜与拉曼光谱联用对样品进行原位观察分析，得到样品扫描电镜图像、拉曼图谱、原位拉曼扫描成像、样品微区成分分析；可连续观测样品且观测过程中样品无污染，不变形。

3、技术规格：

3.1 电子枪：场发射电子枪

3.2 扫描电镜分辨率

3.2.1 二次电子成像分辨率 30KV：1.2nm (WD=5mm)；1KV：3.0nm

#3.2.2低真空模式背散射电子成像分辨率 15KV：3.0nm

3.3 加速电压：0.5 ~ 30kV，加速电压连续可调，最小步径为100V

3.4 电子束流：电子束流强度≥200nA

3.5 电镜操作软件界面上可同时显示以显示器为基准和底片为基准的两种模式下放大倍率的扫描电镜图像

#3.6 物镜光阑：五孔可调式机械物镜光阑（包括：开放、150µm、70µm、30µm、20µm五个孔径），光阑具有内置加热自清洁装置，防止光阑的有机污染

3.7 物镜光阑感应器：物镜光阑内配备样品位移感应器，自动感应样品离物镜距离，达到危险距离仪器主动停止样品台继续靠近并发出尖锐的报警声

3.8 样品驱动：5轴优中心自动马达样品台，连续任意方向调节样品台，样品都处于视野正中心不偏离

3.9 样品观测环境：配备电镜液氮制冷样品台，温度控制范围﹣180℃～60℃，温度稳定范围±1℃

3.10 信号探测器：低位二次电子探测器、UVD探测器、五分割高灵敏度背散射电子探测器

3.11 真空系统：气动阀门控制开合，真空度由电脑自动控制，配备两级离子泵和双涡轮分子泵

#3.12低真空范围：低真空模式可变压力范围10～300Pa且连续可调，所有样品都可无污染、无变形的进行观测

#3.13图像导航：具有三维图像导航功能，且配备样品仓红外CCD相机、样品导航CCD相机双相机模块

3.14图像显示模式：大屏显示（1280x960 像素）、单屏显示（800x600像素）、双屏显示（800x600像素）、四屏同时显示（640x480像素）、实时3D成像模式、点/面分析模式

3.15配备电镜控制管理软件，具有标准模式和高级模式可选择，具有标准品校正功能，自带教学软件完成电镜操作教学

3.16  用户可自行完成红烘烤维护和镜筒合轴维护

#3.17显微共聚焦激光拉曼光谱仪与扫描电镜耦合成联用系统，拉曼扫描范围0~5000cm^-1，激光波长在此范围400~800nm内，光栅刻线在此范围500~2000L/mm内，光纤探头为长焦距型，通过长距光纤将激光引入电镜样品室，实现内原位SEM—Raman检测及成像，无需移动样品台即可完成拉曼光谱与电镜同一位置成像

#3.18多激光器：保证532nm激发波长，激光器功率不低于50mW；可增加632.8nm等激发波长，激光器功率不低于17mW，不同波长段激光器均使用两片Edge瑞利滤光片和一片用于去除等离子线干涉的滤光片，仪器阻挡激光瑞利散射水平好于10¹⁴，切换波长时，激光光路采用计算机控制全自动切换

#3.19不同激发波长采用独立的，按波长独立优化的自由空间激光入射光路，以保证每个波长均有最优的通光效率，避免互相影响

3.20 要求各个波长均配有激光扩束器，使激光光斑尺寸连续可调，并能连续改变到样品上的激光功率密度，以方便信号弱且怕烧样品的检测

3.21计算机控制激光多级衰减片，可控制级数>15级，以方便针对不同样品调整激光功率

#3.22 高灵敏度：硅三阶峰（约在1440 cm^-1）的信噪比好于25:1，并能观察到四阶峰。检测条件：使用单晶硅片，波长532 nm，激光到达样品功率10mW，狭缝宽度（或针孔）<= 50微米，需使用1800线高分辨光栅，曝光时间100秒，累加次数3次（或曝光时间60秒，累加次数5次），binning等于1，显微镜头为x50或x100倍

3.23 不同波长瑞利滤光片按照需要自动切换，采用三点精确定位技术，转台需采用光栅尺反馈控制系统，确保精度和重复性

3.24 光谱分辨率：优于1 cm^-1。检验标准：使用氖灯作为信号源，大于等于1800线高分辨光栅，测试17086ABScm^-1发光线，其半高全宽小于1波数（FWHM<1cm^-1）

3.25 使用1800、2400刻线/毫米高分辨率光栅，并能软件控制自动转换。并能实现光栅连续转动的全谱扫描方式，保证高分辨率下的无接谱

3.26光谱重复性：≤ ±0.05 cm^-1。采用光栅尺反馈控制系统控制光栅的精确定位和重复性。检验标准：使用表面抛光的单晶硅做样品，采用50X或100X物镜，1800刻线/毫米光栅，扫描范围100～4000cm^-1，重复50次。观测硅拉曼峰（520cm^-1），520峰中心位置重复性≤±0.05 cm^-1 

3.27 切换不同的激发波长可自动聚焦透镜组，保证每个透镜95%以上的拉曼信号透过率

3.28  CCD探测器：应使用紫外和近红外同时增强深耗散层型CCD探测器，优质芯片，半导体制冷到-70ºC,为确保图像质量，避免边缘畸变，像元尺寸26 mm

3.29空间分辨率：在x100倍镜头下，横向分辨率≤0.3微米，光轴方向纵向分辨率≤1微米，共焦深度连续可调

3.30 切换波长时，采用计算机控制全自动切换（包括激光器、滤光片、光栅等所有光学元件），无需进行手动调节和更换

3.31具有Spectral ID谱库检索和新建库功能，软件并提供无机矿物、有机物高分子等数据库

3.32 XYZ自动平台，扫描范围：X ≥ 100 毫米，Y≥70 毫米，最小移动步径长度为0.1微米，软件自动控制驱动，同时也配备手动操作杆控制

3.33 采用光栅尺反馈控制系统自动控制克服反向间隙，保证原始点的重复性

#3.34超快速拉曼扫描成像，可达1000张谱图/秒；并能实现样品的三维实体（不同深度）拉曼扫描成像（3D mapping）

#3.35 无需移动样品台，实现电镜、拉曼光谱在电镜真空腔内样品的同一位置原位SEM—Raman检测，确保原位的准确性及样品不在移动过程中位置偏移

3.36配备压电陶瓷平台，实现SEM真空样品仓拉曼成像，保证拉曼测试点与电子束扫描及X荧光分析样品点精确重复

3.37 软件包含快速数据采集、处理等功能模块。包含且不限于图谱面积定量积分、基线校正、图谱平滑、锐化处理

3.38 图像输出格式包含JPG、TIFF、PNG、PDF、BMP等输出格式，数据输出格式包含EXCEL、TXT、SPC、RXP等输出格式

3.39 能谱仪采用硅漂移晶体，超薄窗口，完全独立真空；有效晶体面积不小于60mm2；适合低电压或小束流分析，可以分析纳米尺度的元素成份

3.40 能量分辨率：在100,000CPS条件下Mn Ka能量分辨率优于129eV，轻元素分辨率：C-K/57eV, F-K/67eV

3.41采用纤细化等技术提高固体角，改善系统分析效率,探直直径不大于18.2mm

3.42冷传传输装置与SEM直接连接，通过直径≧50mm的球形阀装置控制样品进出，方便样品进出，并且配备真空保护装置

3.43温度范围：-180°C~60°C，SEM液氮冷台的温度稳定范围为± 1°C。

3.44冷却方式：使用液氮冷却的氮气进行冷却降温，并且氮气压力可调。冷却时间：从室温冷却到-180°C时间<10 分钟

3.45冷冻舱中需配备液氮冷阱，冷冻断裂装置以及镀膜功能。配备Au/Pd合金靶材，并且能够控制镀膜时间

3.46配备有液氮泥快速冷冻装置和真空传输交换装置，轻触按键式控制冷冻舱内真空，照明及升华过程，并有LED显示真空读值以及冷却温度

#3.47 为配合实验需要，系统配备两个高压反应釜，反应釜能承受10MPa压力，可视窗为蓝宝石材质，可直接观察釜内反应情况，具有压力、温度传感器，数据采集系统通过电脑进行控制

4、产品配置要求：

4.1. 场发射扫描电镜

4.2. 样品冷冻传输系统（含液氮冷阱、冷冻断裂装置、Au/Pd合金靶材、液氮泥快速冷冻装置和真空传输交换装置）

4.3. 显微共聚焦激光拉曼光谱仪及扫描电镜耦合联用系统

4.4. X射线能谱仪

4.5. 离子溅射镀膜仪

4.6. EM Wizard电镜控制管理软件，具备标准模式和高级模式可选择，具备标准品校正功能，自带教学软件完成电镜操作教学

4.7. 双激光器，532nm激发波长和632.8nm激发波长

4.8. 压电陶瓷平台

4.9. 高压反应釜（承受10Mpa, 蓝宝石视窗、温压数据采集系统）

4.10. CCD探测器

4.11. 1800、2400刻线/毫米高分辨率光栅，能软件控制自动切换

4.12. 光线探头以及转角物镜

4.13.配套电源及变压器

4.14. 配套高精度软件

4.15. 电脑主机、显示器、操作系统

5、选购附件、备件及消耗品：

无。