TESCAN FERA3氙等离子超高速双束FIB系统(GM)
分析潜力
高亮度肖特基发射可获得高分辨率、高电流和低噪声的图像
选配的In-Beam二次电子探头可获取超高分辨率图像
三透镜大视野观察(Wide Field Optics™)设计提供了多种工作模式和显示模式,体现了TESCAN特有可优化电子束光阑的中间镜设计
结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪(In-Flight Beam Tracing™)可模拟和进行束斑优化
成像速度快
低电压下的电子束减速模式(Beam Deceleration Technology – BDT)可获取高分辨率图像 (选配)
In-Beam背散射电子探头,用于在小工作距离下得BSE图像(选配),甚至适合铁磁性样品
全计算机化优中心电动载台设计优化了样品操控
完美的几何设计更适合安装能谱仪(EDX)、波谱仪(WDX)、背散射电子衍射仪(EBSD)
由于使用了强力的涡沦分子泵和干式前置真空泵, 因而可以很快达到电镜的工作真空,电子枪的真空由离子泵维持
自动的电子光路设置和合轴
网络操作和内置的远程控制/诊断软件
3维电子束技术提供实时立体图像
在低真空模式下样品室真空可达到500Pa 用于观测不导电样品
独特的离子差异泵(2个离子泵)使得离子散射效应超低
聚焦离子束镜筒内有马达驱动高重复性光阑转换器
聚焦离子束的标配包括了电子束遮没装置和法拉第筒
高束流下超高的铣削速度和卓越的性能
FIB切割、信号采集、3维重构(断层摄影术),3D EBSD、3D EBIC与集成3维可视化
成熟的SEM/FIB/GIS操作软件,图像采集、存档、处理和分析功能
FERA3配置
FERA3 GMH
是一款完全由计算机控制的Xe等离子聚焦离子束(i-FIB)场发射扫描电子显微镜,可选配气体注入系统(GIS),在高真空模式下工作。
FERA3 GMU
是一款完全由计算机控制的Xe等离子聚焦离子束(i-FIB)场发射扫描电子显微镜,可选配气体注入系统(GIS),可在高真空和低真空模式下工作。
软件(标配):
测量
图象处理
3维扫描
硬度测量
多图像校准
对象区域
自动关机时间
公差
编程软件
定位
投影面积
EasySEMTM
选配:
根据实际配置和需求
配件:
二次电子探头
背散射电子探头
In-Beam SE
In-Beam BSE
探针电流测量
压差式防碰撞报警装置
可观察样品室内部的红外线摄像头
TOP-SIMS
二次离子探头等,各种配件可供选择
除厂家/中国总经销商外,我们找不到
TESCAN Xe等离子双束扫描电镜(FIB-SEM) 的一般经销商信息,有可能该产品在中国没有其它经销商。
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