TESCAN VEGA3钨灯丝扫描电镜（LM）

LaB6发射源

TESCAN能提供介于肖特基与钨灯丝性能之间的LaB6（六硼化镧）作为电子发射源。LaB6的优势包括：稳定的电子发射源（与场发射电子源相比），在阴极较低温度下可获取比较高的束流（与钨灯丝电子源相比）。这就意味着在整个范围的加速电压和很长的使用寿命中，LaB6可以保持很高的亮度和分辨率。基于其非常高的发射电流，LaB6是需要大电子束流应用领域的正确选择。

现代电子光路

• 独特的四透镜大视野光路设计提供各种各样的工作与显示模式

• 以电磁的方式改变物镜光阑——中间镜的作用如同“光阑转换器“

• 透镜与线圈的优质材料使成象率达到20ns/像素，并减少了动态扭曲效应

• 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™），可模拟和优化电子束

• 镜筒设计提供了全自动电子光路设置，镜筒不含机械对中结构

• 3维电子束技术提供了实时立体图像

检修方便

只要很短的停机检查后就能保持电镜长时间处于zei佳状态。每个细节设计得很仔细，使得仪器的效率zei大化，操作zei简化。

自动操作

通过一次点击就可以进行自动灯丝加热和电子枪对中。众多的自动程序减少了用户的操作时间，并提供了操作的自动导航与自动化分析。通过内置脚本语言（Python）用户可以进入软件大多数功能，包括电镜控制、样品台导航、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户也可以自定义软件的自动操作。

用户界面友好的软件

• 用户界面有各种语言版本

• 多用户界面（包括了EasySEMTM模式）不同账户的权利使常规分析过程更快

• 图像文件管理与报告生成

• 内置的自动系统检查

• 通过局域网或互联网可实现电镜远程诊断

• 模块化软件体系结构

• 标准的软件模块包括了：测量工具、图像处理、对象区域等

• 选配软件包括了：颗粒度分析、三维表面重构等