【技术特点】-- TESCAN MIRA3场发射扫描电镜（GMH/GMU）

MIRA3 GM是一款完全由计算机控制的场发射扫描电子显微镜，可在高真空和低真空模式下操作，其具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟、用户界面友好的操作软件等特点。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

分析潜力

• GM样品室配备有5轴马达驱动的全计算机化优中心样品台，完美的几何设计更适合安装能谱仪（EDS）、波谱仪（WDX）、电子背散射衍射（EBSD）

• 优化几何设计的许多接口，更适合安装能谱仪（EDS）、波谱仪（WDX）、电子背散射衍射（EBSD）和其他探头

• 一流YAG闪烁器式探头

• 可选各种探头和配件

• 在涡轮分子泵和无油干式泵的工作下，几分钟就可以达到仪器工作需要的真空，电子枪的真空度由离子泵保持

• 在低真空模式下可以观测不导电的样品，观测磁性样品的效果非常好

• 可选样品室大小与镜筒防振方式

MIRA3配置

MIRA3 GMH

大样品室高真空式电镜，配备有可选的马达驱动样品台，适合观测导电的样品。

MIRA3 GMU

可变真空式SEM，体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测不导电的样品，不需要喷金。

标配：

• 测量

• 图象处理

• 3维扫描

• 硬度测量

• 多图像校准

• 对象区域

• 自动关机时间

• 公差

• 编程软件

• 定位

• 投影面积

• EasySEM^TM

选配：

根据实际配置和需求 

配件

• 二次电子探头（SE），ET型二次电子探头（YAG 闪烁体）

• 可移动式背散射电子探头（RBSE）*，可移动环行闪烁体类（YAG）具有高灵敏度和原子序数分辨率（0.1Z）

• 低真空二次电子探头

• 探针电流测量

• 压差式防碰撞报警装置

• 可观察样品室内部的红外线摄像头

• 等，各种配件可供选择

zei新一代的TESCAN MIRA场发射扫描电镜给用户带来了zei新的技术优点（如改进的高性能电子设备使成像过程更快，快速扫描系统包括了动态与静态图像扭曲补偿，有内置的编程软件等），同时保持着zei高的性价比。

MIRA3的设计适用于各种各样的SEM应用及当今研究和产业的需求。大电子束流下的高分辨率有利于分析应用，例如：EBSD、WDX等分析。

MIRA3场发射扫描电镜可配置LM、XM或GM三种样品室。所有的MIRA样品室（LM、XM或GM）提供优秀的5轴马达驱动全计算机化优中心样品台，完善的几何设计更适合安装能谱仪（EDS），波谱仪（WDX），电子背散射衍射（EBSD）。XM和GM样品室适用于大样品的分析。

现代电子光路

• 高亮度肖特基电子枪可获得高分辨率/高电流/低噪音图像

• 独特的三透镜大视野观察（Wide Field Optics™）设计提供了多种工作与显示模式

• 独特的中间镜的作用就如同软件“光阑转换器”，它以电磁方式有效地改变物镜光阑

• 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™），可模拟和优化电子束

• 可选的In-Beam探头可获得特高分辨率图像

• 电镜的全自动设置

• 成像速度快

• 使用3维电子束技术，实时得到立体图像，三维导航

维修简单

现在保持电镜处在优秀的状态很简单，只需要很短的停机时间。每个细节设计得很仔细，使得仪器的效率zei大化，操作zei简化。

自动操作

设备的特点包括了自动设置和众多自动操作。除此之外，电镜还有样品台自动导航与自动分析 程序，能明显减少操作员的操作时间。通过内置脚本语言（Python）可进入软件的大多数功能，包括显微镜的控制、样品台的控制、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户还可以编程其自己的自动操作程序。

用户界面友好的软件与软件工具

• 多语言操作界面

• 多用户界面（包括了EasySEM^TM模式）不同账户的权利使常规分析过程更快

• 图片管理，报告生成

• 内置的系统检查与系统诊断

• 网络操作与远程进入/诊断

• 模块化软件体系结构

• 标准软件包括了测量、图像处理、对象区域，等模块

• 可选的软件和包括颗粒度分析标准版/专家版、3维表面重建，等模块

  
  

MIRA3 GM

MIRA3 GM是一款完全由计算机控制的场发射扫描电子显微镜，可在高真空和低真空模式下操作，其具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟、用户界面友好的操作软件等特点。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

MIRA3 XM

MIRA3 XM是一款完全由计算机控制的场发射扫描电子显微镜，可在高真空和低真空模式下操作，其具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟、用户界面友好的操作软件等特点。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

MIRA3 LM

MIRA3 LM是一款完全由计算机控制的场发射扫描电子显微镜，可在高真空和低真空模式下操作，其具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟、用户界面友好的操作软件等特点。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

【技术特点对用户带来的好处】-- TESCAN MIRA3场发射扫描电镜（GMH/GMU）

【典型应用举例】-- TESCAN MIRA3场发射扫描电镜（GMH/GMU）