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项目 | KYKY-EM8100F性能参数 | |
分辨率 | 1 nm(30KV); 3nm(1KV) | |
放大倍数 | 15x~800,000x | |
加速电压 | 0 ~ 30KV | |
电子枪 | Schottky肖特基场发射电子枪 | |
自动调整功能 | 聚焦、亮度/对比度、消像散、电子束对中等 | |
真空系统 | 高真空二次电子探测器，四分割背散射电子探头（具备保护探测器探头不被碰撞的功能） | |
行程 | X | 0 ~ 150mm |
Y | 0 ~ 150mm | |
Z | 0 ~ 60mm | |
R | 360° | |
T | -5° ~ 75° （zei大样品直径375mm） | |
探测器 | SE探测器，BSE探测器，X-ray能谱仪（可选），EBSD（可选）等 | |
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