规格参数
Phenom ParticleX | |
| 光学放大 | 3 - 19 X |
| 电子光学放大 | 200,000 X |
| 分辨率 | 优于 8 nm |
| 光学导航相机 | 彩色 |
| 加速电压 | 4.8 kV - 20.5 kV 连续可调 |
| 真空模式 | 高分辨率模式 降低核电效应模式 高真空模式 |
| 探测器 | 背散射电子探测器 二次电子探测器 (选配) 能谱探测器 |
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经销商
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