聚焦离子束(FIB)微型采样系统用于STEM分析

产品型号：微型采样系统

品牌：日立

产品产地：日本

产品类型：进口

原制造商：日立

状态：在售

厂商指导价格： 50~100万元[人民币]

上市时间： 2016-10-16

英文名称：micro sampling system for FIB used for STEM analysis

优点：优异的高效分析性能 微型采样方法(已在日本和美国取得zl)已在半导体器件分析领域成为一款工具，它正迅速向更小制样方向发展。仅用一小时左右即可获得一个微小样品，以便于STEM分析，其定位精度可达到0.1 µm以下。