| 项目 | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | ||
| 二次电子分辨率 | 0.7 nm | 0.6 nm（加速电压 15 kV） | ||||
| （加速电压15 kV） | 0.7 nm（着陆电压 1 kV）*3 | |||||
| 0.8 nm | ||||||
| （着陆电压1 kV）*3 | ||||||
| 着陆电压 | 0.1～2 kV | 0.01～20 kV | ||||
| 放大倍率 | 20～1,000,000倍*4 | 20～2,000,000倍*4 | ||||
| 样品台 | 样品台控制 | 3轴马达台（可选5轴马达台） | 5轴马达驱动 | |||
| 移动范围 | X | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～110 mm | |
| Y | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～80 mm | ||
| R | 360° | |||||
| T | -5～70° | |||||
| Z | 1.5～30 mm | 1.5～40 mm | ||||
| 再现性 | - | - | - | ±0.5 µm以下含±0.5 µm | ||
*3 减速模式下观察
*4 以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率
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