AURIGA 基本参数 | ||
分辨率 | SEM | FIB |
GEMINI column 1.0 nm @ 15 kV 1.9 nm @ 1kV | Cobra column: 2.5 nm @ 30kV Canion column: 7nm@ 30kV | |
放大倍数 | 12x – 1000 kx | 300x – 500 kx |
束流 | 4pA – 20 nA (80nm 可选) | 1 pA – 50 nA |
加速电压 | 0.1 - 30 kV | 1.0 – 30 kV |
发射器 | 热场(Schottky) | Ga 离子源(LMIS) |
气体注入器系统 | a) 5个(Pt,C,W, 碘,绝缘体,氟化物等) b) 4个+局部电荷中和器(可使用所有的标准探测器) c) 一个 d) 在使用局部电荷中和器时,可使用所有的标准探测器 | |
样品台 | 6 轴超优中心马达台 移动范围 X,Y = 100 mm Z = 55 mm Z” = 10 mm 倾斜= -10 - 60度,旋转=360度 连续 AWD(分析工作距离)=5-8.5 mm | |
样品交换室 | 80 mm / 100 mm 手动样品交换 | |
探测器 | 高效环形 In-lens 二次电子探测器 Everhart-Thornley二次电子探测器 镜筒内置式 EsB背散射电子探测器(带0-1500V过滤网) 二次离子探测器(SESI) 固体背散射电子探测器 BF/DF STEM探测器 | |
样品室 | 330 mm(直径),266 mm(高) 15个接口可安装 STEM,4QBSD,EBSD,EDS,WDS,SIMS,GIS系统,局部电荷中和器等 2个观察用CCD. | |
操作显示系统 | 基于Windows操作系统上的SmartSEM操作界面。 由鼠标,键盘,操作杆控制或控制板(可选) |
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