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聚焦离子束系统

tel: 400-6699-117 6251

蔡司扫描电镜SEM, 这是一台zei新设计的聚焦离子束系统,具备高分辨率成像功能。它由电子束系统(SEM)和离子束系统(FIB)组成,可以进行......

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                          AURIGA  基本参数

分辨率

         SEM

           FIB


GEMINI column

1.0   nm @ 15 kV

1.9 nm @  1kV

Cobra column: 2.5 nm @ 30kV

Canion column: 7nm@ 30kV

放大倍数

  12x – 1000 kx

   300x – 500 kx

束流

 4pA – 20 nA (80nm 可选)

   1 pA – 50 nA

加速电压

  0.1 30 kV

   1.0 – 30 kV

发射器

 热场(Schottky)

 Ga 离子源(LMIS

气体注入器系统

a)       5个(Pt,C,W, 碘,绝缘体,氟化物等)

b)      4个+局部电荷中和器(可使用所有的标准探测器)

c)      一个

d)      在使用局部电荷中和器时,可使用所有的标准探测器

 样品台

 6 轴超优中心马达台

 移动范围

         X,Y 100 mm

         Z   55 mm

         Z”  10 mm

         倾斜= -10 60度,旋转=360 连续

         AWD(分析工作距离)58.5 mm

 样品交换室

 80 mm / 100 mm 手动样品交换

 探测器

 高效环形 In-lens 二次电子探测器

 Everhart-Thornley二次电子探测器

 镜筒内置式 EsB背散射电子探测器(带01500V过滤网)

 二次离子探测器(SESI

 固体背散射电子探测器

 BF/DF STEM探测器

样品室

 330 mm(直径)266 mm()

 15个接口可安装 STEM,4QBSD,EBSD,EDS,WDS,SIMS,GIS系统,局部电荷中和器等

2个观察用CCD.

操作显示系统

基于Windows操作系统上的SmartSEM操作界面。

由鼠标,键盘,操作杆控制或控制板(可选)


厂家资料

地址:上海自由贸易试验区美约路60号

电话:400-6699-117 转 6251

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