电子光学

FIB

分辨率

1.1nm @ 20 kV

2.5nm @ 1 kV

NEON®:        7nm @ 30 kV

NVision40:     4nm @ 30 kV

加速电压

0.1 - 30 kV

NEON®:          2 - 30 kV

NVision40:        5-30kV

                 1-5kV(opt.)

束流

NEON®:   4pA - 10nA

NVision40: 4pA - 20nA

NEON®:         1pA - 50nA

NVision40:     0.1pA - 45nA

放大倍数

NEON®:   12 – 900kx

NVision40: 30x-900kx

NEON®:         600x–500kx

NVision40:       475x-500kx

发射器

热场发射

Ga液态金属离子源（Ga LMIS）

标准探测器

内置式(In-lens)二次电子探测器与样品室内ET探测器

图象处理

7种积分和平均模式

系统控制

基于Windows® XP的SmartSEM™