Quanta SEM

Quanta 系列扫描电子显微镜属于多功能、高性能仪器，并具有高真空、低真空和 ESEM 三种模式，能够处理的样本类型之多堪称 SEM 系统之zei。所有 Quanta SEM 系统均可配备分析系统，比如能量色散谱仪、X 射线波长色散谱仪以及电子背散射衍射系统。此外，场发射电子枪 (FEG) 系统含有一个用于明场和暗场样本成像的 S/TEM 检测器。SEM 系统中的另一个可变配置是电动工作台的尺寸（分 50mm、100mm 和 150mm 三种）以及电动 Z 轴行程的大小（分别为 25mm、60mm 和 65mm）。Quanta 650 和 650 FEG 都设计了大标本室，能够分析和浏览大型标本。