背散射电子图像分辨率:8nm
二次电子图象分辨率:5nm
加速电压:200V-30KV
放大倍数:20x-300,000x
仪器种类:钨灯丝
性能指标:
型号 | Cube-200 | 桌面型/台式扫描电镜 |
样品台 | XYZ三轴自动,RT手动 | |
电子枪 | 预对中钨灯丝,三极自动偏压,偏压与加速电压关联 | |
加速电压 | 200V-30KV ,数字化高压电源,连续可调 | |
探测器 | E-T型-SE detector, | 半导体固体BSE detector(选) |
物镜光阑 | 四孔位可变光阑,20~100μm | |
分辨率 |
| 8nm@30KVBse Image |
放大倍数 | 20-300,000 X | |
样品室 | Se、Bse、EDS探测器接口, 4个其他接口 | |
样品尺寸 | Φ90mm x 45mm(H) | |
工作距离 | 0-48mm | |
扫描光栅运动 | 电位移 ±50μm, 电旋转 0-360° | |
扫描模式 | 聚焦模式:320X240 像素 ,尺寸可变 TV模式:800x 600像素 慢扫描模式,用于TV及聚焦模式。 照相模式:800X600、960X720、1024x768、1600x1200、3200x2400像素 | |
高级扫描 | 动态聚焦,倾斜补偿, | 自动照相存储 |
图像格式 | JPG、TIFF、bmp、PNG | |
真空系统 | 全自动真空系统,真空高压连锁安全保护 | |
自动功能 | 亮度/对比度, 聚焦, 电子枪对中、偏压、饱和,物镜光阑摇摆对中,自动照相存储 | |
软件系统 | 基于Win10,Virtuoso专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。鼠标键盘操作。 | |
主机尺寸/重量 | 410(W)x440(D)x 520(H)mm /65kg | |
电源 | 单相交流 220V 、50Hz、1KW | |
耗材附件 | 预对中灯丝,样品托,碳导电胶带,专用工具 |
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