背散射电子图像分辨率：5nm@30KV
二次电子图象分辨率：5nm（30KV，SE Image）
加速电压：5~30kV~
放大倍数：100000x
技术参数：
| 电子光学系统 | 分辨率 | 5nm (30kV, 二次电子成像) |
| 放大倍率 | 20x~100,000x | |
| 加速电压 | 1~30kV (1/5/10/15/20/30) | |
| 探测器 | 二次电子探测器（SE） | |
| 电子枪 | 预对中钨灯丝 | |
| 载台系统 | 载台运动 | 5轴系统 (X, Y, R, Z, T -手动) |
| X, Y-轴: 40mm / R-轴: 360° | ||
| Z-轴: 0~35mm / Tilt-轴 : 0~45° | ||
| * 影像偏移 : ±150μm | ||
| 最大样品尺寸 | 80mm（Φ）*35mm（H） | |
| 成像系统 | 自动功能 | 自动启动，自动聚焦，自动消像散，自动调节对比与亮度 |
| 图像格式 | BMP, JPEG, PNG, TIFF | |
| 真空系统 | 真空模式 | 高真空（低真空可选） |
| 真空泵 | 旋转式机械泵/涡轮式分子泵（全自动） | |
| 尺寸与重量 | 主机 | 390(W)x380(D)x560(H)mm, 88kg |
| 控制单元 | 390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg | |
| 旋转泵 | 400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg |
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