| 检测方式 | 激光检测方式/自检测方式 |
|---|---|
| 样品尺寸 | 最大35 mmφ、厚度10 mm（专用配件厚度扩展至20 mm） |
| 扫描范围 |
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| 定位显微镜 |
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| 减震方式 |
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| 操作画面 | 搭载流程图的操作导航系统 |
| 检测功能 |
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| 扩展功能 | AFM、STM、SIS、FFM、LM-FFM、VE-AFM/DFM、Adhision、CURRENT、KFM、PRM、SNDM、SSRM、EFM、MFM |
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经销商
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