2850412321
技术参数：
扫描器
XY扫描器
柔性制导闭环控制单模块扫描器
扫描范围10μm*10μm（可选50μm*50μm ，100μm*100μm）
平面偏移度:<2nm（40μm*40μm扫描）
Z扫描器
柔性制导强力扫描器
扫描范围12μm（可选25μm）
共振频率：>5kHz
表面成像噪声：0.03nm
样品台
样品尺寸： 100mm*100mm*20mm
样品重量：zei大500g
样品台移动范围：13mm*13mm
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扫描探针/原子力显微镜SPM/AFM
售后服务
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