技术特点
【技术特点】-- Park systems NX-3DM 自动化原子力显微镜
Park NX-3DM的特点
倾斜式Z轴扫描系统
NX-3DM独具匠心地将Z轴扫描器倾斜设计,且通过zl的串扰消除原子力显微镜平台,XY轴与Z轴扫描器完全解耦。用户可以扫描到垂直侧壁以及各种角度的侧凹结构。与配有喇叭形头的系统不同,XE-3DM可使用高分辨率高长宽比的探针。
全自动图形识别
借助强大的高分辨率数字CCD镜头和图形识别软件,Park NX-HDM让全自动图形识别和对准成为可能。
自动测量控制
自动化软件让XE-3DM的操作不费吹灰之力。测量程序针对悬臂调谐、扫描速率、增益和点参数进行优化,为您提供多位置分析。
真正非接触模式和更长的探针使用寿命
得益于zl的高强度Z轴扫描系统,XE系列原子力显微镜让真正非接触模式成为可能。真正非接触模式借助了原子间的相互吸引力,而非相互排斥力。
因此,在真正非接触模式下,探针与样品间的距离可以保持在几纳米,从而盖上原子力显微镜的图像质量,保证探针尖端的锋利度,延长使用寿命。
行业zei低的本底噪声
为了检测zei小的样品特征和成像zei平的表面,Park推出行业本底噪声zei低(< 0.5?)的显微镜。本底噪声是在“零扫描”情况下确定的。由于悬臂与样品表面接触,因此系统噪声是在如下条件下单点测量:
? 扫描范围为0 nm x 0 nm,探针停留在一个点
? 0.5增益,接触模式
? 256 x 256像素
* 选项
高通量自动化
自动探针更换(ATX)
借助自动探针更换功能,自动测量程序能够无缝衔接。该系统会根据参考图形测量数据,自动校正悬臂的位置和优化测量设定。创新的磁性探针更换功能,成功率高达99%,高于传统的真空技术。
自动晶片装卸器(EFEM或FOUP)
您可以在XE-3DM中加装自动晶片装卸器(EFEM或FOUP或其他)。高精度无损晶片装卸机械臂能够百分百保证NX-3DM用户享受到快速且稳定的自动化晶片测量服务。
离子化系统
NX-3DM可搭载离子化系统,以有效消除样品的静电电荷。由于系统随时可生产和位置正离子和负离子之间的理想平衡,便可以稳定地离子化带电物体,且不会污染周边区域。它也可以消除样品处理过程中意外生成的静电电荷。
【技术特点对用户带来的好处】-- Park systems NX-3DM 自动化原子力显微镜
【典型应用举例】-- Park systems NX-3DM 自动化原子力显微镜
经销商
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扫描探针/原子力显微镜SPM/AFM
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