技术参数:
1、扫描方式:针尖扫描
2、分辨率: XY方向<5nm、Z方向<1nm
3、扫描范围:
每根单探针扫描范围30 微米 (XYZ方向)
仅样品扫描器扫描范围100微米(XYZ方向)
样品扫描器和单探针扫描器扫描范围130微米 (XYZ方向)
样品扫描器和双探针扫描器扫描范围160微米(XY方向)
4、扫描步进:70um扫描器<1nm、10um扫描器<0.1nm
5、扫描器厚度:7mm;重量:75克
6、zei大样品尺寸:半径16mm,另根据客户需求可以选配任何合理尺寸;
**********探针**********
扫描探针/原子力显微镜SPM/AFM
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