通用 | |
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使用气体 | Ar(氩)气 |
加速电压 | 0~8 kV |
截面研磨 | |
最快研磨速率(材料Si) | 1 mm/hr*1以上含 1 mm/hr*1 |
最大研磨宽度 | 8 mm*2 |
最大样品尺寸 | 20(W) × 12(D) × 7(H) mm |
样品移动范围 | X ±7 mm、Y 0~+3 mm |
离子束间歇加工功能 | 标准配置 |
摆动角度 | ±15°、±30°、±40° |
平面研磨 | |
最大加工范围 | φ32 mm |
最大样品尺寸 | φ50 × 25(H) mm |
样品移动范围 | X 0~+5 mm |
离子束间歇加工功能 | 标准配置 |
旋转速度 | 1 r/m、25 r/m |
倾斜角度 | 0~90° |
*1 Si突出遮挡板边缘100 µm,1个小时最大加工深度
*2 使用广域截面研磨样品座时
选配
项目 | 内容 |
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高耐磨遮挡板 | 耐磨遮挡板是标准遮挡板的2倍左右(不含钴) |
加工监测用显微镜 | 放大倍率 15×~100× 双目型、三目型(可加装CCD) |
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