RPS50 SEM扫描电镜原位等离子清洗仪适用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗及样品积碳清洗。采用远程RF射频离子源清洗,高效、低等离子体轰击损伤。核心部件采用国际一流品牌,保证设备具有优异的质量与稳定可靠性。
RF射频离子源通入氧气后产生的等离子体被电磁场束缚于离子源内部, O活性自由基与SEM腔室内碳氢化合物反应生成CO2,CO及H2O等被真空机组抽走,zei终实现SEM腔室/样品积碳清洗之目的,同时提高SEM成像分辨率及衬度,缩短电镜抽真空时间。
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