◆技术参数：

（1）惰性气源： 纯度 ≥99.95%，压力≥ 0.4 MPa（建议使用高压钢瓶气体）；

（2）气体流量： 吹扫时，3NL/min，工作时 ＜50NmL/min；

（3）除气时间 ： 首次操作≤2h，日常运行≤30min；

（4）氧气含量 ＜0.1Vol%，可达0.01%（100ppm，使用高纯气源）；

（5）氧气检测 0~5%（精度1%FS，分辨率0.01%），0~1000ppm（精度1%，分辨率1ppm）[可选]；

（6）工作压力 5kPa~30kPa（表压），耐压能力0.2MPa（表压）；

（7）环境温度  5℃~45℃；

（8）环境湿度  10%~80%。