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TMC主动隔振平光学台系统STACIS III

tel: 400-6699-117 1000

TMC光学平台, TMC主动隔振平光学台系统STACIS III......

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TMC主动隔振平光学台系统STACIS III® III性能规格:

Active degrees of freedom

6

Active bandwidth

0.6 Hz - 150 Hz

Passive natural frequency

18 Hz vertical and horizontal

Effective active resonant frequency

0.5 Hz

Isolation at 1 Hz

40% - 70%

Isolation at ≥2 Hz

≥90%

Settling time after a 10 lb (4.5 kg) step input (10:1 reduction)

0.3 sec

Internal noise

<0.1 nm RMS

Operating load range per isolator

Low capacity: 400-1100 lbs (181-499 kg)
Med capacity: 900-2100 lbs (408-953 kg)
Hi capacity: 1900-4500 lbs (862-2041 kg)

Static lift capacity per isolator

9000 lbs (4090 kg)

Stiffness (1000 lb / 454 kg mass, Med capacity isolator)

40,000 lb/in. (73 x 105N/m)

Magnetic field emitted at maximum 4 in.(102 mm) from the isolator

<0.02 μG broadband RMS


隔离器设计,尺寸,环境和实用要求

Environmental and safety

CE and RoHS compliant

Active isolation elements

high-force piezoelectric actuators that receive signal from a high-voltage amplifier with an output of up to 800 VDC

Passive isolation element

single stiff isotropic elastomer (no compressed air supply required)

Vibration sensor elements

downward facing geophone type inertial sensors that measure floor vibration below the isolator and deliver voltage proportional to the velocity of vibration motion

Active feedback control loop

Floor vibration is measured, processed and attenuated below the spring supporting the isolated surface

Isolator dimensions (WxDxH)

11.75 x 12.5 x 10.8 in.
300 x 320 x 275 mm

Isolator weight

75 lb (34 kg)

Operating temperature

50° - 90° F
10° - 32° C

Storage temperature

-40° - 130° F
-40° - 55° C

Humidity (operating)

30 - 60%

System power requirements

100, 120, 230, 240 VAC
50/60 Hz AC;<600 W
CE compliant

Floor displacement

<480 μin. (12 μm) below 10 Hz

Isolator count per system

minimum of 3

Options

laminated stainless steel platforms, frames, risers, leveling devices, earthquake restraints, lifthoods


DC-2020 控制器规格

Dimensions (WxDxH)

19 x 8.5 x 1.75 in.
483 x 216 x 45 mm

Weight

6.3 lb (2.9 kg)

Processor

150/75 MHz dual core

Sampling rate

10 kHz

Analog outputs

16 channels

Analog inputs

16 channels

Status light

single LED

Front panel ports

1x serial USB 2.0
1x serial Micro-USB
1x Ethernet RJ-45
2x BNC

Rear panel ports

1x serial USB 2.0
1x Ethernet RJ-45
1x RS-232 DB-9 legacy serial for legacy STACIS 2100 isolators

User interface

Front panel LCD display
Character menu on HyperTerminal
Extended GUI for Microsoft Windows
Embedded Ethernet GUI


STACIS用户及应用领域:

1、微电子、半导体

  • 晶片检测

  • 显微光刻技术

  • 掩膜校准

2、科学研究、纳米技术

  • SEM、TEM

  • STEM、SPM

3、激光台

  • 生命科学、药物研发

4、工业应用

  • 精密加工


为什么要选择主动系统?

  • 从<1Hz开始强烈消除地面震动,气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振

  • 提高质量、生产量

  • 更加细小特色的成像能力

  • 前沿研究

  • 比气动平台更稳定

  • 满足SEM标准地点安装参数的唯一解决方案

  • 使得新实验室及研究设备的工程造价更低


主动系统为何选择STACIS

  • 正中了科研者的的心声,提供了尽可能完美的无震环境。

  • 市场上完美强劲的低频隔振系统。

  • 目前所有的SEM厂商都公布了安装参数要求,其需要的震动参数需要主动隔振系统才能满足。

  • STACIS首次发明于1990s,经TMC进一步发展,开发和安装了数以千计的主动隔振系统,这是主动隔振控制领域的提供的可靠解决方案。


STACIS相比气动隔离器刚性大几百倍

稳定时间作为对扰动的响应,由于独特的串联式设计,而大大缩短,理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。


如下优势在业内都是无与伦比的

  • STACIS的主动隔振带宽为0.6Hz -150Hz

  • 6个自由度的主动震动消除,在1Hz时隔振8-10dB 

  • 从2-3Hz时,隔振可达90% (20dB) 


专业的环境调查

1、安装前后的环境调查,包括震动、磁场、声波

2、安装后可提供环境系统体系认证

  • 完善的环境调查服务

  • 开具专业环境报告

  • 提供震动、磁场、声波检测及解决方案

  • TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案 

  • 40多年的行业经验,业内的领导者


性能曲线?

4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)


现场图片








厂家资料

地址:TMC 15 Centennial Drive Peabody, MA 01960 USA

电话:400-6699-117 转 1000

经销商

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