TMC主动隔振平光学台系统STACIS III® III性能规格:
Active degrees of freedom | 6 |
Active bandwidth | 0.6 Hz - 150 Hz |
Passive natural frequency | 18 Hz vertical and horizontal |
Effective active resonant frequency | 0.5 Hz |
Isolation at 1 Hz | 40% - 70% |
Isolation at ≥2 Hz | ≥90% |
Settling time after a 10 lb (4.5 kg) step input (10:1 reduction) | 0.3 sec |
Internal noise | <0.1 nm RMS |
Operating load range per isolator | Low capacity: 400-1100 lbs (181-499 kg) |
Static lift capacity per isolator | 9000 lbs (4090 kg) |
Stiffness (1000 lb / 454 kg mass, Med capacity isolator) | 40,000 lb/in. (73 x 105N/m) |
Magnetic field emitted at maximum 4 in.(102 mm) from the isolator | <0.02 μG broadband RMS |
隔离器设计,尺寸,环境和实用要求
Environmental and safety | CE and RoHS compliant |
Active isolation elements | high-force piezoelectric actuators that receive signal from a high-voltage amplifier with an output of up to 800 VDC |
Passive isolation element | single stiff isotropic elastomer (no compressed air supply required) |
Vibration sensor elements | downward facing geophone type inertial sensors that measure floor vibration below the isolator and deliver voltage proportional to the velocity of vibration motion |
Active feedback control loop | Floor vibration is measured, processed and attenuated below the spring supporting the isolated surface |
Isolator dimensions (WxDxH) | 11.75 x 12.5 x 10.8 in. |
Isolator weight | 75 lb (34 kg) |
Operating temperature | 50° - 90° F |
Storage temperature | -40° - 130° F |
Humidity (operating) | 30 - 60% |
System power requirements | 100, 120, 230, 240 VAC |
Floor displacement | <480 μin. (12 μm) below 10 Hz |
Isolator count per system | minimum of 3 |
Options | laminated stainless steel platforms, frames, risers, leveling devices, earthquake restraints, lifthoods |
DC-2020 控制器规格
Dimensions (WxDxH) | 19 x 8.5 x 1.75 in. |
Weight | 6.3 lb (2.9 kg) |
Processor | 150/75 MHz dual core |
Sampling rate | 10 kHz |
Analog outputs | 16 channels |
Analog inputs | 16 channels |
Status light | single LED |
Front panel ports | 1x serial USB 2.0 |
Rear panel ports | 1x serial USB 2.0 |
User interface | Front panel LCD display |
STACIS用户及应用领域:
1、微电子、半导体
晶片检测
显微光刻技术
掩膜校准
2、科学研究、纳米技术
SEM、TEM
STEM、SPM
3、激光台
生命科学、药物研发
4、工业应用
精密加工
为什么要选择主动系统?
从<1Hz开始强烈消除地面震动,气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振
提高质量、生产量
更加细小特色的成像能力
前沿研究
比气动平台更稳定
满足SEM标准地点安装参数的唯一解决方案
使得新实验室及研究设备的工程造价更低
主动系统为何选择STACIS
正中了科研者的的心声,提供了尽可能完美的无震环境。
市场上完美强劲的低频隔振系统。
目前所有的SEM厂商都公布了安装参数要求,其需要的震动参数需要主动隔振系统才能满足。
STACIS首次发明于1990s,经TMC进一步发展,开发和安装了数以千计的主动隔振系统,这是主动隔振控制领域的提供的可靠解决方案。
STACIS相比气动隔离器刚性大几百倍
稳定时间作为对扰动的响应,由于独特的串联式设计,而大大缩短,理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。
如下优势在业内都是无与伦比的
STACIS的主动隔振带宽为0.6Hz -150Hz
6个自由度的主动震动消除,在1Hz时隔振8-10dB
从2-3Hz时,隔振可达90% (20dB)
专业的环境调查
1、安装前后的环境调查,包括震动、磁场、声波
2、安装后可提供环境系统体系认证
完善的环境调查服务
开具专业环境报告
提供震动、磁场、声波检测及解决方案
TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案
40多年的行业经验,业内的领导者
性能曲线?
4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)
现场图片
经销商
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