TMC主动隔振平光学台系统STACIS III

STACISzei初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微平版印刷，计量和检测设备，现在是噪声环境中敏感仪器的行业标准解决方案，包括但不限于半导体工厂，故障分析实验室，纳米技术研究，纳米制造设施和材料研究。

STACIS III包括一个新的和改进的数字控制器，DC-2020。新的双核处理器和以太网以及前后面板上的USB串行端口，这个新的先进的控制系统为用户提供了一个现代的，易于使用的图形用户界面（GUI）。通过全球数百个成功安装，STACIS是振动敏感度zei高的仪器的理想振动消除系统。

TMC主动隔振平光学台系统STACIS III® III特征及优点：

• zei新改进型DC-2020数字控制器，提供易于使用的图形用户界面

• 隔振开始于0.6赫兹，1Hz时达到40％至70％的隔离率

• 频率2赫兹和更高时，垂直和水平隔振率大于90％

• 降低基础设施的要求和建设成本，即使有较大外界震动设备也可正常运行

• 有效隔振范围，0.6Hz到150Hz

• 获得众多用户的广泛认可和肯定

• 6向自由度硬安装设计，无需空气悬架

• 强大的控制系统无需定期重新校准

• point-of-use设计方案，与客户现有隔振系统无缝兼容

• 随着外部环境改变，系统自动调节以适应不同外部震动情形

• TMC的STACIS®技术使用压电执行器主动消振

• 数字控制器与基于PC的图形用户界面（GUI）

• 提高客户产品产量、质量、成品率。

• 符合RoHS标准

• zei宽的主动隔振带宽，完美的低频隔振效果

• 亚赫兹的主动震动消除，zei主要在0.6-6Hz频段内的隔振

• 可堆叠式设计

• 主动硬式安装结构、而非软式悬浮、无低频漂移、主动元件与刚性弹簧相连

• 被动弹簧滤除了来自STACIS传感器的负载谐振，需要的调谐非常少，甚至无需调谐

• 由于阻抗不匹配，可兼容仪器内部隔离器

• 负载可达2000kg

• 市场上完美的主动隔振系统