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TMC STACIS III主动隔振系统

tel: 400-6699-117 1000

TMC光学平台, STACISIII是zei先进的主动振动隔离系统。采用先进的惯性振动传感器,复杂的控制算法,和zei先进的压电致动器。S......

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技术特点
【技术特点】-- TMC STACIS III主动隔振系统


zei初设计用于先进半导体工厂的精密显微光刻、计量和检测设备的隔振,STACIS现在是嘈杂环境中敏感仪器的行业标准解决方案,包括但不局限于半导体晶圆厂失效分析实验室、纳米技术研究、纳米加工设备和材料研究。

STACIS III包括一个新型改进的数字控制器----DC - 2020。它的前后面板有新型双核处理器以太网和USB串口这个新型先进控制系统为用户提供了一个现代的、易于使用的图形用户界面(GUI)

拥有在世界各地的数百个成功安装案例,STACIS对于大部分振动敏感仪器来说都是zei理想的振动消除系统。




【技术特点对用户带来的好处】-- TMC STACIS III主动隔振系统


【典型应用举例】-- TMC STACIS III主动隔振系统


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地址:TMC 15 Centennial Drive Peabody, MA 01960 USA

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