技术特点
【技术特点】-- USZ-5/6型气垫自动平衡精密光学平台
特点:
气垫式阻尼隔振系统,有效消除振动
地面、平台等结合处采用多级复合材料进一步减小阻尼
优质高导磁不锈钢面板
M6 25×25安装孔方阵靠
表面精密磨制,完全去除粗加工痕迹、表面光滑、精度高
结构紧凑、稳定可调
静音气泵,工作噪声小于65dB,正常储气压强为0.6Mpa,工作时压缩机启动补齐压强为0.2到0.4Mpa
USZ-5型采用国产气动元件 USZ-6型采用进口气动元件
USZ-5/6气垫自动平衡精密光学平台主要参数
平面度 ≤0.05mm/m2
平面粗糙度 ≤0.8μm
固有频率 垂直方向<3Hz
水平方向<3Hz
振幅 ≤3μm
【技术特点对用户带来的好处】-- USZ-5/6型气垫自动平衡精密光学平台
【典型应用举例】-- USZ-5/6型气垫自动平衡精密光学平台
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