性能指标:
台体厚度 | 50mm,100mm,150mm,200mm,300mm,350mm, |
工作面板材料、厚度 | 430(不锈钢)面板5mm,底板4mm |
蜂窝内芯 | 隔板、筋板粘接而成,隔板厚 度0.75mm,筋板厚度0.25mm |
阻尼方式 | 宽带阻尼 |
蜂窝内芯密度 | 250kg/m3 |
布孔 | 公制M6、25mm×25mm等间距阵列、边距37.5mm |
台板平面度 | ≤0.05mm/m2 |
台板粗糙度 | ≤0.8μm,表面亚光处理 |
变形量 | < 2μm /m2 |
主要性能指标
1.光学平台。长:3000mm;宽:1500mm;台面厚度:250mm;高:800mm;长宽高误差均不超过5%。
2.载荷能力:不小于1200kg
3.固有频率垂直方向:≦5Hz ;水平方向:≦5Hz。
4.zei大动挠度系数:≦2.2×10-3
5.zei大相对位移:≦0.58nm。
6.台面平面度:≦0.02-0.05mm/m2 ;
7.台面螺孔距:25mm (误差不超过5%) 孔径:M6。
8.防振系统;四个方形钢管支撑内,内置四点高分子橡胶阻尼隔振装置支撑架。调平方式:手动调平
9.台面板材质: 10mm厚1Cr17高导磁不锈钢加工制造,成品厚>9.5mm
10.台体内状结构: 台体内部蜂窝状钢质结构, 内部全部精加工无毛刺,无残余加工油渍,干净整洁
11.台体底板材质, 8mm厚Q235钢板,底面防锈处理
12..台体总厚度, 250mm
13..台面离地高度 800mm,正负20mm调节
14.台体内状结构:台体内部蜂窝状钢质结构, 内部全部精加工无毛刺,无残余加工油渍,干净整洁
15. 振 幅:≤1.2um ;
16. 台面平整精度:0.05mm/m2 ;
17. 表面光洁度: ≤0.8 ~1.2um
18.台面状态:表面、四周精密研磨,光滑平整
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