【技术特点】-- 主动隔振平台

  主动隔振台
高负载精密研究设备的优秀隔振系统

 产品特点                  应用
 •  主控频率  1Hz - 200Hz       •  SEM         •  TEM
 •  被动防振频率   >200Hz       •  UHV-SPM         •  光刻
 •  5-20毫秒的响应时间          •  光谱测量      
 •  安装简单,容易使用           •  其他高精密仪器
 •  能无故障连续使用多年        • 高精度测量     
 •  通过LED显示屏控制                      

【技术特点对用户带来的好处】-- 主动隔振平台

【典型应用举例】-- 主动隔振平台