变形量

0.8mm

1.5mm

1.5mm

1.5mm

1.5mm

1.5mm

2.5mm

2.5mm

2.5mm

通道数

97

37

52

69

97

277

52

88

241

孔径

7.2mm

7.5mm

9.0mm

10.5mm

13.5mm

24.5mm

15.0mm

20.0mm

37.5mm

镜面平整度

7.0nm RMS

zei大行程（PTV)

80μm

60μm

60μm

60μm

60μm

50μm

30μm

40μm

25μm

波前驱动器行程

>3.0μm PTV

3 x 3行程（PTV)

>24μm

>24μm

>24μm

>24μm

>24μm

>24μm

>15μm

>15μm

>14μm

校正时间（+/-5%)

2.0ms

1.0ms

1.0ms

1.0ms

1.0ms

1.0ms

2.0ms

2.0ms

2.0ms

带宽

>400HZ

>750HZ

>750HZ

>750HZ

>750HZ

>750HZ

>500HZ

>500HZ

>500HZ

AO循环帧频率

<4.0KHZ

<7.5KHZ

<7.5KHZ

<7.5KHZ

<7.5KHZ

<7.5KHZ

<5.0KHZ

<5.0KHZ

<5.0KHZ

回程误差

<1%

非线性误差

<3%

涂层

保护银

操作温度

10-35℃