Synchrotron Optics---同步辐射光学组件

                                                                                               50 cm的同步加速器光学器件：未涂敷和已涂敷的Si衬底

    为避免辐射损伤，我们研究了吸收程度可能zei低且具有高反射率的低原子数Z元素膜。下图展示了碳层组成的全反射镜的优越性能。这种镜子由GKSS用磁控管溅射法制备而成，其Si衬底上涂有35纳米厚的单一碳层。该碳层在所关注的整个应用范围（50到250电子伏特）内展现出了95%以上的良好反射率，这一数字与一种金刚石模拟层的zei佳反射率相差无几。我们所生产的镜子长度可长达150 cm。

    35纳米厚的全反射碳镜的反射率与能量的比较。为便于比较，我们用红色曲线展示了一种理想的金刚石模拟层（ρ＝3.5 g/cm³）。

长达150 cm的涂层	150 cm衬底上44.2纳米厚碳膜的厚度偏差图：峰谷值小于1纳米，均一性好于2%