【技术特点】-- Synchrotron Optics---同步辐射光学组件

用于同步加速器的多条纹多层膜

      Incoatec公司也生产适合您工作的优化型多层光学器件。凭借我们在诸多材料方面的多年经验，一款适合您的光学器件并不只是梦想。我们目前拥有50多种不同的标靶材料，并拥有不同层组合的涂敷经验。由于相互扩散和界面粗化的存在，理论上的zei佳材料组合在实际中并不总是能相得益彰，不过我们能够为您找出zei佳的可行之道。zei后同样重要的是我们的沉积技术精度不俗，而这种高精度正是现代多层同步加速器光学器件所必需的。下图为一张透射电子显微（TEM）照片。我们能在任何梯度下沉积均一性小于0.1%的均匀薄膜。

层间距为1.4纳米、对数为500的某多层镜Mo/B4C的TEM显微照片

    下图展示了用于瑞士光源（Swiss Light Source）处断层扫描射束线的多条纹光学器件。我们为反射能量介于10到22千电子伏特的应用领域生产了100层对和单一层厚为2纳米的Ru/C多层器件。下图中的第二种多层器件由单层厚度为1.5纳米的W/Is组成，适用的能量范围为22到45千电子伏特。这两种多层器件之间的Si 111衬底也是一种反射元件。此光学元件的长度为30 cm。在沉积这些多层器件时，其单层厚度的沉积精度在±1%以下。

   未涂敷的Si衬底，以及在反射断层扫描射束线上反射诸多能量的已安装多条纹多层光学器件。（照片由PSI-SLS的M. Stampanoni惠供）

【技术特点对用户带来的好处】-- Synchrotron Optics---同步辐射光学组件

【典型应用举例】-- Synchrotron Optics---同步辐射光学组件