技术特点
【技术特点】-- 日立 FT110A X射线荧光镀层厚度测量仪
1.自动对焦功能 自动接近功能
在样品台上放置各种高度的样品时,只要高低差在80mm范围内,即可在3秒内自动对焦被测样品。由此进一步提高定位操作的便捷性。
●自动对焦功能 简便的摄像头对焦
●自动接近功能 最适合位置的对焦
2.通过新 薄膜FP法提高测量精度
实现微小光束的高灵敏度,通过微小准直器提高了膜厚测量精度。镀层测量时间比本公司原有机型缩短了1/2。另外,针对检测器的特性开发了新的EP法,可进行无标样测量。测量结果可一键生成报告书,简单方便。
●新 薄膜EP法
减少检量线制作的繁琐程度、实现了设定测量条件的简易化
无标样测量方法可进行最多5层的膜厚测量
●自动对焦功能和距离修正功能
凹凸落差的样品可通过薄膜EP法做成的相同测定条件进行测量
●灵敏度提高
镀层测量时间比本公司原有机型缩短了1/2
●生成报告功能
一键生成测量报告书
3.广域样品观察
对测量平台(250mm*200mm)上放置的样品拍摄一张静态画面后,可在获取的广域观察图像上指定狭域的观察位置。由此,可大幅减少多数测量点位置的选取时间,以及在图像上难以寻找的特定点位置的选定时间。
●广域图像观察 轻松定位
【技术特点对用户带来的好处】-- 日立 FT110A X射线荧光镀层厚度测量仪
【典型应用举例】-- 日立 FT110A X射线荧光镀层厚度测量仪
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