技术参数：

可测量元素：原子序数22(Ti)～92(U)
X射线源：小型空气冷却型X射线管球 管电压：45kV 管电流：1mA Be窗
滤波器：一次滤波器：Al-自动切换  二次滤波器：Co-自动切换
检测器：比例计数管
准直器：方型：0.2×0.05mm 0.05×0.02mm 
              圆形：Φ0.1mm Φ0.2mm Φ0.3mm

安全性能：装有样品门联锁、防冲撞的功能

样品图像对焦方式：激光自动对焦

样品观察：CCD固定倍率、卤素灯照明 选购项：倍率切换（zei大130倍） 
修正功能：底材修正、已知样品修正、人工输入修正
测量报告书制作：配备MS-EXCEL® MS-WORD®(使用宏支持自动制作测量报告书) 测量能谱与样品图像保存功能